[实用新型]一种垂直伞形高真空插板阀有效
| 申请号： | 201821401233.2 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN208670108U | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 朱选敏;郭爱云 | 申请（专利权）人： | 武汉科瑞达真空科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K3/314 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 郭官厚 |
| 地址： | 430075 湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阀体 插板阀 导杆 高真空 真空腔 伞形 本实用新型 垂直 通过性 气缸 全自动化控制 阀体安装 高温退火 基片装载 密封连接 气缸连接 上安装座 下安装座 优化设计 真空阀门 托盘 成品率 大跨度 工件箱 联轴器 气缸轴 内壁 下端 支撑 隔离 | ||
1.一种垂直伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔(1)，其特征在于：所述阀体真空腔(1)的下端设置有阀体安装门(2)，所述阀体真空腔(1)的内侧设置有阀体导杆(4)，所述阀体导杆(4)的两端分别通过导杆上安装座(20)和导杆下安装座(16)固定在阀体真空腔(1)的内壁上，所述阀体导杆(4)上安装有支撑块(17)，所述支撑块(17)通过联轴器与插板阀气缸(7)连接，所述插板阀气缸(7)通过气缸轴密封(5)连接在气缸安装门(3)上，所述气缸安装门(3)上通过冷却水进出轴密封(8)连接有冷却水进出管(9)，所述冷却水进出管(9)通过冷却水进出分水器(6)与外部进出水法兰连接，所述冷却水进出管(9)远离冷却水进出分水器(6)的一端连接有冷却水进出分水头(10)，所述支撑块(17)的一侧设置有阀板导向轮(14)，所述阀板导向轮(14)的下方设置有阀板导向座(15)，所述阀板导向轮(14)的一侧设置有伞形撑杆(11)，所述伞形撑杆(11)安装在导向座(12)上，所述伞形撑杆(11)的一侧设置有支撑板(18)，所述支撑板(18)的一侧设置有限位块(13)，所述伞形撑杆(11)的另一侧设置有密封板(19)。
2.根据权利要求1所述的一种垂直伞形高真空插板阀，其特征在于：所述支撑板(18)和密封板(19)的内侧面分别焊接有支撑板冷却水道(181)和密封板冷却水道(191)，所述支撑板冷却水道(181)和密封板冷却水道(191)均通过软管与冷却水进出分水头(10)密封连接。
3.根据权利要求1所述的一种垂直伞形高真空插板阀，其特征在于：所述支撑块(17)通过插板阀气缸(7)在阀体导杆(4)上运动。
4.根据权利要求1所述的一种垂直伞形高真空插板阀，其特征在于：所述支撑板(18)和密封板(19)通过伞形撑杆(11)撑开。
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