[实用新型]化学气相沉积炉有效
| 申请号： | 201821326944.8 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN209052765U | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 于金凤;朱刘 | 申请（专利权）人： | 广东先导稀材股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种化学气相沉积炉，其包括自下而上组装的用于盛放原料的一坩埚、配合坩埚使用的一坩埚盖、一沉积室、一收料盒、一导气管；所述沉积室由若干沉积板组成，所述沉积板均竖直放置，所述若干沉积板包括居于两侧的侧边板和位于两侧边板之间的居间板，所述居间板为双面沉积板，所述侧边板为单面沉积板，所述侧边板靠近居间板的一侧可沉积。本实用新型化学气相沉积炉，对沉积炉的沉积室进行了改进，增大了沉积室的沉积面积，进而提高了产品的转化率。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积室 化学气相沉积炉 侧边板 沉积板 本实用新型 坩埚 沉积 单面沉积 竖直放置 双面沉积 沉积炉 导气管 收料盒 坩埚盖 边板 盛放 组装 改进 配合 | ||
【主权项】：
1.一种化学气相沉积炉，其包括自下而上组装的用于盛放原料的一坩埚、配合坩埚使用的一坩埚盖、一沉积室、一收料盒、一导气管；其特征在于：所述沉积室包括若干沉积板，所述沉积板均竖直放置，所述若干沉积板包括居于两侧的侧边板和位于两侧边板之间的居间板，所述居间板为双面沉积板，所述侧边板为单面沉积板，所述侧边板靠近居间板的一侧可沉积。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东先导稀材股份有限公司，未经广东先导稀材股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821326944.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种智能化多工位金属表面处理连续加工装置
- 下一篇：激光修复系统集成车间
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
