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- [实用新型]一种沉积炉支撑装置-CN202222838837.6有效
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黄志国;周伟;黄硕
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扬州市硕成伟业电热设备有限公司
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2022-10-27
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2023-05-16
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C23C16/44
- 本申请提供一种沉积炉支撑装置，涉及沉积炉领域。该沉积炉支撑装置，包括主体、用于调节沉积炉高度的升降机构、用于使沉积炉转动的旋转机构和用于对沉积炉夹持固定的夹持机构，所述夹持机构具有用于承载沉积炉的盛料筒。该沉积炉支撑装置，通过设置第一电动伸缩杆和第二电动伸缩杆对沉积炉进行夹持固定，有效的解决了以往的沉积炉支撑装置只能对固定大小的沉积炉进行夹持的问题，实现了对不同直径大小和不同高度的沉积炉进行固定，对沉积炉的不同高度位置进行固定，提高沉积炉的稳定性和装置适用性的有益效果，通过设置两个大小不同的副齿轮与主齿轮啮合，通过调节主齿轮的转速从而控制沉积炉的转动速度，实现了提高工作效率的有益效果。
- 一种沉积支撑装置
- [实用新型]一种化学气相沉积系统-CN201320436496.8有效
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戴煜;胡祥龙;胡高健
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湖南顶立科技有限公司
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2013-07-22
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2013-12-25
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C23C16/455
- 本申请公开了一种化学气相沉积系统，包括：结构为箱型并且对外密闭的沉积炉；多个设置在沉积炉上并与沉积炉相连通，用来向沉积炉内输送化学气体的喷嘴；与喷嘴相连通的化学气体分配装置；多个设置在沉积炉上并与沉积炉相连通，用来对沉积炉抽真空的抽真空口；与抽真空口相连通的抽真空装置；设置在沉积炉内壁上的多个加热装置。通过控制不同喷嘴和抽真空口的开关，改善沉积炉内化学气体浓度的均匀性；同时沉积炉内的多个加热装置，可以使炉内各个部位的温度基本一致。本申请提供的化学气相沉积系统的沉积炉内各个位置的化学气体浓度均匀性和温度均匀性较好，使沉积炉内各个位置沉积的速率能够保持一致，最终可以得到的密度均匀一致的产品。
- 一种化学沉积系统
- [实用新型]一种沉积炉的炉盖提升装置-CN202320031205.0有效
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奚衍罡
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苏州冠岚新材料有限公司
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2023-01-06
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2023-06-06
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F27D1/18
- 本实用新型公开了一种沉积炉的炉盖提升装置，包括沉积炉本体和沉积炉盖体，所述沉积炉盖体安装固定在沉积炉本体的上端位置上，所述沉积炉本体的外侧设置有凹型金属机架，所述凹型金属机架的下端内侧设置有抵触固定杆，所述抵触固定杆的内端位于沉积炉本体外侧设置有圆弧夹板，所述沉积炉盖体的上端设置有双头提升板，所述双头提升板的外端设置有侧边限位器，所述双头提升板的上端位于凹型金属机架上设置有炉盖提升器，所述炉盖提升器与外部控制器电性连接本实用新型公开的沉积炉的炉盖提升装置具有两侧驱动提升，从而有效避免提升晃动的技术效果。
- 一种沉积提升装置
- [实用新型]一种沉积炉炉盖的密封结构及沉积炉-CN202120534679.8有效
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匡良明;康治政;李鑫;司洪涛
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森松(江苏)重工有限公司
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2021-03-15
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2021-10-29
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F16J15/06
- 本实用新型属于沉积炉技术领域，公开了一种沉积炉炉盖的密封结构及沉积炉，该沉积炉炉盖的密封结构包括第一密封组件、抵接部和第二密封组件，炉盖的端口、管板和管板法兰能够压紧该第一密封组件，以起到隔热和初级密封的作用；抵接部设置于炉盖的靠近管板法兰的一侧，抵接部能够抵接于第一密封组件的外侧短边；第二密封组件嵌设于炉盖法兰上的环形凹槽内，且第二密封组件能够抵接于管板法兰，以实现高可靠性的第二级密封；该沉积炉包括炉盖、炉身、炉盖法兰、管板、管板法兰、活节螺栓座、活节螺栓、螺母以及沉积炉炉盖的密封结构，该沉积炉的炉盖的密封结构简单、密封隔热性能良好，提升了沉积炉的工作性能和工作效率，降低了沉积炉的成本。
- 一种沉积炉炉盖密封结构
- [实用新型]一种钟罩式气相化学用沉积炉-CN202222520598.X有效
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王勇
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成都四盛科技有限公司
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2022-09-23
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2023-03-28
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C23C16/54
- 本实用新型公开了一种钟罩式气相化学用沉积炉，包括钟罩式气相化学沉积炉、固定压板和安装机构，所述钟罩式气相化学沉积炉直接置于用于支撑的底座上端的中部，连接柱，所述连接柱固定连接在底座上端的左右两侧，所述固定压板用于对钟罩式气相化学沉积炉的下端压紧固定，所述安装机构对称设置在钟罩式气相化学沉积炉的左右两端。该钟罩式气相化学用沉积炉，能够非常便捷的对钟罩式气相化学沉积炉进行夹持固定，防止钟罩式气相化学沉积炉在使用过程中产生晃动，紧固性好，结合固定压板对钟罩式气相化学沉积炉的下端进行压紧限位，使得钟罩式气相化学沉积炉的密封性更好
- 一种钟罩式气相化学沉积
- [发明专利]一种碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置-CN202111555171.7在审
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颜彬游;宋明星;黄泽熙
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厦门钨业股份有限公司
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2021-12-17
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2022-04-08
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C23C16/452
- 本发明涉及化学气相沉积技术领域，特别涉及一种碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，包括相连通的活化回收炉和沉积炉，活化回收炉内设有活化区及活化区周侧的尾气回收区；活化区的一端连接有第一进气管，活化区的另一端通过活化管路与沉积炉的进气端相连接；尾气回收区的一端分别与回收管路和第四进气管相连接，尾气回收区的另一端与尾气处理机构相连接，回收管路与沉积炉的排气端相连接；沉积炉内设有气体混合装置及沉积平台，气体混合装置分别与活化管路、第二进气管和第三进气管相连接；活化回收炉和沉积炉内均设有加热装置，在加热装置的作用下，所述活化回收炉内进行气体活化或尾气回收，所述沉积炉内进行沉积涂层，降低了反应成本和损耗。
- 一种掺杂化学沉积涂层装置
- [实用新型]一种物理气相沉积炉-CN202121536975.8有效
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董家海
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浙江诺华陶瓷有限公司
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2021-07-07
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2022-08-26
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C23C14/54
- 本实用新型涉及气相炉设备技术领域，更具体的说是一种物理气相沉积炉。本实用新型提供一种物理气相沉积炉，其有益效果为可以实现对工作的气相沉积炉进行温度测量，从而确保气相炉内的温度为加工的适宜温度。一种物理气相沉积炉，包括气相炉、抽气口、气孔和温度传感器，气相炉上设置有进气口，气相炉上设置有气孔，温度传感器与气相炉外壁接触。一种物理气相沉积炉还包括盛放板，多个盛放板均固定连接在气相炉内部。一种物理气相沉积炉还包括盛放槽，多个盛放板上均设置有盛放槽。
- 一种物理沉积
- [实用新型]一种新型立式气相沉积炉-CN202123252451.9有效
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刘昊亮;郭勇;张振清;陈浩纯
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江西昊军智能装备有限公司
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2021-12-23
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2022-04-22
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C23C16/44
- 一种新型立式气相沉积炉，包括沉积炉炉体、沉积室、安装底座及安装平台，安装平台固定安装于安装底座的上端面上，沉积炉炉体固定安装于安装平台上，安装底座的中部开设有一道滑轨，滑轨上设置有一个填料车，沉积炉炉体内设置有一个沉积室，沉积室为由外室及内室组成的中空的正六边形腔体类结构，外室内接于沉积炉炉体内，内室同心设置于外室的内侧，内室与外室之间的均匀设置有数块加热板，加热板通过线路外接电源，沉积炉炉体沿其周向均匀开设有数个加压孔，加压孔内均密封连接有一根加压管，沉积炉炉体的顶部可拆卸的设置有一个上盖，填料车上焊接有一个与沉积炉炉体相适配的底盖。
- 一种新型立式沉积
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