[实用新型]化学气相沉积炉

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉，其包括自下而上组装的用于盛放原料的一坩埚、配合坩埚使用的一坩埚盖、一沉积室、一收料盒、一导气管；其特征在于：所述沉积室包括若干沉积板，所述沉积板均竖直放置，所述若干沉积板包括居于两侧的侧边板和位于两侧边板之间的居间板，所述居间板为双面沉积板，所述侧边板为单面沉积板，所述侧边板靠近居间板的一侧可沉积。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述沉积板采用等静压石墨制备而成。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述坩埚盖上开设了连通坩埚和沉积室的若干第一通孔，所述收料盒上开设有连通沉积室和收料盒的一第二通孔，所述化学气相沉积炉还包括给坩埚加热的一第一加热器，所述收料盒内置一集尘室和盖设在集尘室上方的一集尘室盖板，所述集尘室盖板上开设连通集尘室和收料盒的一第三通孔。

4.根据权利要求3所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述化学气相沉积炉还包括包覆于沉积室和收料盒以及部分导气管外的一第二加热器。

5.根据权利要求4所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述化学气相沉积炉还包括包覆于第一加热器和第二加热器外的一保温层。

6.根据权利要求5所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述化学气相沉积炉还包括包覆于保温层外的一水冷夹套。

7.根据权利要求6 所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述化学气相沉积炉还包括嵌设于坩埚盖内且自坩埚盖向坩埚通气的一第一进气管以及嵌设于坩埚盖内且自坩埚盖向沉积室通气的一第二进气管，所述第一进气管上开设有若干第一进气孔，所述第二进气管上开设有若干第二进气孔。

8.根据权利要求7所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述若干第一通孔之间等距离分布，所述第二进气孔之间等距离分布，所述若干第一通孔以及若干第二进气孔呈交错分布。

9.根据权利要求8所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述化学气相沉积炉还包括嵌设于坩埚盖内且自坩埚盖向坩埚通气的一第一进气管以及自水冷夹套外向沉积室通气的一第二进气管，所述第一进气管上开设有若干第一进气孔，所述第二进气管在沉积室内的部分上开设有若干第二进气孔。

10.根据权利要求9 所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述第二通孔、第三通孔以及导气管的中轴线位于同一直线上。