[实用新型]一种热量可回收利用的天然气退火炉有效
申请号: | 201821265015.0 | 申请日: | 2018-08-07 |
公开(公告)号: | CN208690210U | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 翁益连 | 申请(专利权)人: | 扬州金辰不锈钢制造有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/324 |
代理公司: | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人: | 朱进 |
地址: | 225600 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了退火炉技术领域的一种热量可回收利用的天然气退火炉,所述退火炉右侧底部设置有炉口,所述退火炉外壁设置有回形管,所述回形管右侧顶部的法兰盘右侧设置有集热管,所述集热管底部设置有集热斗,所述集热斗内腔设置有过滤筛,所述回形管左侧底部的法兰盘左侧设置有输热管,当退火炉内腔的热量通过炉口排出时通过集热斗进入集热管内腔,集热管内腔的热量进入回形管内腔,通过回形管与退火炉连接处的石墨导热柱将部分热量传导至退火炉上,保证退火炉内腔的热量,达到热量回收利用的功效,当回形管内腔大部分的热量通过输热管进入烘干装置,对烘干装置内腔的部件进行烘干,极大的降低了烘干成本,满足了使用需求。 | ||
搜索关键词: | 退火炉 内腔 回形管 集热管 集热 烘干装置 法兰盘 可回收 输热管 烘干 炉口 热量回收利用 本实用新型 退火炉外壁 天然气 热量传导 导热柱 过滤筛 石墨 排出 保证 | ||
【主权项】:
1.一种热量可回收利用的天然气退火炉,包括退火炉(1),其特征在于:所述退火炉(1)右侧底部设置有炉口(2),所述退火炉(1)底部左右两侧均设置有支撑柱(3),所述退火炉(1)外壁设置有回形管(4),所述回形管(4)左侧底部和右侧顶部均设置有法兰盘(5),所述回形管(4)右侧顶部的法兰盘(5)右侧设置有集热管(6),所述集热管(6)底部设置有集热斗(7),所述集热斗(7)内腔设置有过滤筛(8),所述回形管(4)左侧底部的法兰盘(5)左侧设置有输热管(9),所述输热管(9)左侧设置有烘干装置(10)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造