[实用新型]一种薄膜太阳能电池制备设备

摘要

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，公开了一种薄膜太阳能电池制备设备。本实用新型中，所述薄膜太阳能电池包括样品传送室、分别与所述样品传送室真空连接的多个膜层沉积室、以及至少部分设置于所述样品传送室内的样品转移装置，所述样品转移装置在所述样品传送室与各个膜层沉积室之间转移样品。本实用新型提供的薄膜太阳能电池制备设备能够避免氧气、水分等杂质的干扰，提高产品质量以及减少生产样品的时间成本。

主权项

1.一种薄膜太阳能电池制备设备，其特征在于，包括样品传送室、分别与所述样品传送室真空连接的多个膜层沉积室、以及至少部分设置于所述样品传送室内的样品转移装置，所述样品转移装置在所述样品传送室与各个膜层沉积室之间转移样品；所述样品转移装置包括设置于所述样品传送室内的传送带、设置在传送带上并用于承载样品的样品架、以及与所述样品传送室相连的可伸缩机械臂；所述可伸缩机械臂为多个，多个所述可伸缩机械臂与所述多个膜层沉积室一一对应并相互正对设置；所述样品转移装置还包括设置于所述可伸缩机械臂上的红外探测器。