[实用新型]一种遮挡结构和蒸发台有效
| 申请号： | 201821211390.7 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN208517519U | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 程国庆;耿智蔷 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 葛松生 |
| 地址： | 132013 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种遮挡结构和蒸发台，属于半导体生产领域。遮挡结构包括邻近蒸发舟布置的第一挡圈。蒸发舟位于第一挡圈限定的区域内。柱形结构的第一挡圈包括相互连接的第一柱体部和第二柱体部。第一柱体部由具有第一缺口且中空的圆柱体形构成。第二柱体由具有第二缺口且中空的四棱柱体构成，第一柱体部和第二柱体部通过第一缺口和第二缺口的对接而拼合为一体。遮挡结构用于提高蒸发台蒸铝均匀性提高蒸镀元件的蒸镀品质。此外，通过设置的第二挡圈可以保护轨道不被蒸镀。同时，第二挡圈的有角度的倾斜构造可以保障整个蒸发过程都可以被百分百的蒸镀。 | ||
| 搜索关键词： | 柱体部 挡圈 遮挡结构 蒸镀 蒸发台 蒸发舟 中空的 倾斜构造 四棱柱体 圆柱体形 蒸发过程 柱形结构 均匀性 拼合 蒸铝 柱体 半导体 邻近 轨道 | ||
【主权项】：
1.一种遮挡结构，用于提高蒸发台蒸铝均匀性，所述蒸发台具有蒸发舟，其特征在于，所述遮挡结构包括：第一挡圈，所述第一挡圈邻近所述蒸发舟布置，所述蒸发舟位于所述第一挡圈限定的区域内，所述第一挡圈为柱形结构，所述第一挡圈包括相互连接的第一柱体部和第二柱体部；所述第一柱体部由具有第一缺口且中空的圆柱体形构成，所述第二柱体由具有第二缺口且中空的四棱柱体构成，所述第一柱体部和所述第二柱体部通过所述第一缺口和所述第二缺口的对接而拼合为一体。
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