[实用新型]一种晶棒夹持工装有效
申请号: | 201821206946.3 | 申请日: | 2018-07-27 |
公开(公告)号: | CN208663466U | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 魏超;王亚东;彭存振;孙英硕;王平 | 申请(专利权)人: | 山东新升光电科技有限责任公司 |
主分类号: | B24B37/27 | 分类号: | B24B37/27 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 250200 山东省济南*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶棒夹持工装,包括可拆卸连接的上夹具和下夹具,所述下夹具上表面一体制成有V型槽,所述上夹具包括直块;所述直块上部内面至顶面内面为向内倾斜的坡面;所述直块外侧纵向开设有至少两倒凸型通槽;所述下夹具顶面开设有正对倒凸型通槽的下孔;所述凸型通槽和下孔之间旋接有螺栓。本实用新型的晶棒夹持工装;上夹具采用直块并配合其顶部的坡面实现压紧,能够接受大外径的晶棒加工,当在定位时,通过螺杆带动球头驱动转杆前推,使转筒凸出直槽外表面,晶棒定位过程中能够选旋转调节,完成定位并通过定向仪监控,将螺杆后旋,带动转筒回到通槽内,此时,通过螺栓锁紧上下夹具,即可送至加工研磨设备处进行加工。 | ||
搜索关键词: | 通槽 上夹具 下夹具 晶棒 本实用新型 倒凸型 工装 棒夹 顶面 螺杆 内面 坡面 下孔 种晶 转筒 定向仪 加工 可拆卸连接 螺栓 凸出 定位过程 夹持工装 驱动转杆 上下夹具 旋转调节 研磨设备 一体制成 纵向开设 螺栓锁 上表面 前推 球头 凸型 向内 旋接 压紧 正对 直槽 监控 配合 | ||
【主权项】:
1.一种晶棒夹持工装,包括可拆卸连接的上夹具和下夹具,所述下夹具上表面一体制成有V型槽,其特征在于:所述上夹具包括直块;所述直块上部内面至顶面内面为向内倾斜的坡面;所述直块外侧纵向开设有至少两倒凸型通槽;所述下夹具顶面开设有正对倒凸型通槽的下孔;所述凸型通槽和下孔之间旋接有螺栓。
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