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- [发明专利]研磨设备-CN200810095355.8有效
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邱瑞春
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世界先进积体电路股份有限公司
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2008-05-04
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2009-11-04
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B24B29/00
- 本发明提供了一种研磨设备，该研磨设备用以研磨至少一晶片，包括一主体、一研磨盘、一辅助治具以及至少一轴心，研磨盘以可旋转的方式设置主体上；辅助治具设置于研磨盘上方，并具有至少一定位部；轴心具有一端面，晶片则固定于端面上；当轴心放置于定位部中时，定位部固定轴心的位置，使端面与研磨盘相对。本发明的研磨设备可同时进行多组晶片试片的研磨，提高整体生产力；并且可采用完全自动化的研磨方式可改善人工施力不均的问题，提升研磨良率；并且可缩小研磨盘的消耗面积，并同时节省材料成本。
- 研磨设备
- [实用新型]研磨设备-CN202122054566.0有效
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胡亚林
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长江存储科技有限责任公司
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2021-08-27
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2022-03-11
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B24B37/20
- 本实用新型提供了一种研磨设备。研磨设备包括：研磨垫；调整组件，包括连接杆和设置在连接杆的第一端上的调整头，连接杆的第二端可活动地设置，以调整调整头相对于研磨垫的位置；研磨头，研磨头用于安装待研磨晶圆；其中，调整头包括本体和设置在本体上的调整盘，调整盘位于本体与研磨垫之间，调整盘具有出液孔，从出液孔流出的液体用于对研磨垫进行清洗；和/或，调整盘具有抽真空孔，抽真空孔用于对位于研磨垫上的杂质进行抽吸。本实用新型有效地解决了现有技术中研磨设备在对晶圆进行研磨的过程中晶圆上易出现刮痕的问题。
- 研磨设备
- [发明专利]研磨设备-CN201711241988.0在审
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邱红光
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宁波江北森壹机械制造有限公司
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2017-11-30
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2018-05-11
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B24B37/07
- 本发明涉及磨削技术领域，具体涉及一种研磨设备；包括机架、电机和用于研磨钢管端面的研磨盘，还包括支撑机构、夹持机构和研磨机构；支撑机构包括支撑杆和用于支撑钢管的支撑环；夹持机构包括固定架、夹持筒和两个对称设置在固定架两侧的固定部；研磨机构包括研磨架、主动齿轮和研磨齿轮，研磨架固定在机架上，且研磨架内设有内齿圈，内齿圈与研磨齿轮啮合，研磨齿轮与主动齿轮啮合，研磨盘连接在研磨齿轮的端面，电机的输出轴与主动齿轮连接。本方案能研磨不同管径的钢管的端面，操作方便。
- 研磨设备
- [发明专利]研磨设备-CN202010733512.4在审
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彭名君
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群福电子科技（上海）有限公司
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2020-07-27
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2020-10-23
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B24B37/10
- 本发明提供了一种研磨设备，包括基座，具有相对的第一面和第二面，所述第一面呈圆形，用于吸附晶圆的下表面；第一驱动机构，与所述第二面连接，用于驱动所述基座绕所述第一面圆心处的垂线旋转；研磨件，呈圆柱状，轴线与所述第一面圆心处的垂线相交且垂直；研磨垫，覆盖于所述研磨件的侧面；第二驱动机构，与所述研磨件连接，用于驱动所述研磨件绕轴线旋转。所述研磨设备中，所述研磨件呈圆柱状，轴线与所述第一面圆心处的垂线相交且垂直，所述研磨垫覆盖于所述研磨件的侧面，使得所述研磨垫作用于晶圆表面的线速度相同，从而能够更好的控制晶圆表面的平整度，且不需要复杂的分区研磨头，减少设备的成本以及控制难度。
- 研磨设备
- [发明专利]研磨设备-CN202310583600.4在审
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李前国;颜如玉
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苏州市创怡盛实业有限公司
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2023-05-23
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2023-07-25
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B24B5/37
- 本申请涉及一种研磨设备。包括架台、固定装置、打磨装置以及加热装置，具有一工作面架台上具有一工作面。前述固定装置、打磨装置以及加热装置均设于工作面。固定装置具有在第一方向上长度可调的固定间隙，固定间隙用于固定待研磨件；打磨装置用于挤压打磨待研磨件表面；加热装置用于加热待研磨件。通过打磨装置和加热装置的配合，可以实现准确地对待研磨件进行加热处理至一定温度后再进行挤压打磨，以提高打磨精度并且在研磨过程中也不会产生粉尘。
- 研磨设备
- [发明专利]研磨设备-CN202211677592.1在审
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付家鹏;刘继强;赵学东;吕心建;张明振
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运怡（北京）医疗器械有限公司
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2022-12-26
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2023-04-18
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B02C19/18
- 本申请涉及研磨技术领域，具体提供一种研磨设备，旨在解决具有韧性和粘性的材料不易研磨粉碎的问题。为此目的，本申请的研磨设备包括送料机构、振动部和研磨机构。具体地，送料机构的送料通道首端与料源和冷冻介质源连通，用于输送和冷冻待研磨材料。振动部与送料通道连接。研磨机构的进料口与送料通道的末端连通，用于研磨待研磨材料。本申请提供的技术方案可以通过冷冻介质对振动送料机构中的待研磨材料进行即时冷冻，以利于研磨粉碎。同时，振动部对送料通道中的待研磨材料进行振动，有利于顺畅送料且有助于冷冻介质与待研磨材料充分接触以提高冷冻效果。
- 研磨设备
- [发明专利]研磨设备-CN202310559721.5在审
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赵东辉;黄萧风;张建威
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东莞领杰金属精密制造科技有限公司
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2023-05-17
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2023-08-29
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B24B37/02
- 本申请公开了一种研磨设备，包括：太阳轮、外齿轮、行星轮、驱动机构以及磨盘机构；太阳轮外周设有内齿圈；外齿轮与太阳轮同轴设置，且外齿轮的内圈设有外齿圈；行星轮设于太阳轮和外齿轮之间，且分别与内齿圈和外齿圈啮合每个安装位与行星轮过安装位中心的直径的夹角相同，每个安装位沿行星轮圆周的倾斜方向也相同；驱动机构连接太阳轮和/或外齿轮，并能够驱动太阳轮和/或外齿轮转动；磨盘机构设于行星轮的至少一侧，且与太阳轮同轴，以用于研磨工件的侧面本申请的研磨设备对工件的加工移除量较为均匀，能够提高工件的加工质量。
- 研磨设备
- [发明专利]研磨设备-CN201110262576.1有效
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守屋纪彦
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不二越机械工业株式会社
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2011-08-30
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2012-03-21
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B24B37/20
- 一种研磨设备，其能够使同心加压区之间的边界区域中的压力分布连续地变化并且均匀地研磨工件。研磨设备包括：研磨头，其用于保持工件；研磨板，其具有研磨面，研磨面附着有研磨布；以及驱动机构，其用于使研磨头相对于研磨板移动。研磨头包括：保持板，其具有环状侧壁；弹性片构件，其被固定到保持板的边缘，弹性片构件具有能够将工件压到研磨板的研磨布上的底面；压力室，规定压力的流体被供给到压力室以对弹性片构件加压，压力室形成于保持板的底面和弹性片构件的顶面之间
- 研磨设备
- [发明专利]研磨设备-CN201880075740.8有效
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M.海姆
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福伊特专利有限公司
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2018-10-11
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2022-07-15
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D21D1/30
- 本发明涉及一种用于处理纤维料的设备，其具有两个布置在壳体(1)中的并且被纤维料沿径向穿流的研磨间隙(2、3)，所述研磨间隙分别通过围绕旋转轴线(8)旋转的处理工具(5)和非旋转的处理工具(4)构成，其中具有旋转对称的形状并且相互共轴地布置，两个旋转的处理工具(5)被固定在共同的、被可旋转支承的轴(9)驱动的基板(7)上，并且被布置在两个非旋转的处理工具(4)之间，旋转式基板(7)沿轴向可移动地固定在所述轴(9)上，并且研磨间隙在此，应由此实现设备更安全的运行，即，为所述轴(9)配置测量单元(10)，用于检测作用在轴(9)上的轴向力(F)。
- 研磨设备
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