[实用新型]一种晶棒夹持工装有效
| 申请号： | 201821206946.3 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN208663466U | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 魏超;王亚东;彭存振;孙英硕;王平 | 申请（专利权）人： | 山东新升光电科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 250200 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通槽 上夹具 下夹具 晶棒 本实用新型 倒凸型 工装 棒夹 顶面 螺杆 内面 坡面 下孔 种晶 转筒 定向仪 加工 可拆卸连接 螺栓 凸出 定位过程 夹持工装 驱动转杆 上下夹具 旋转调节 研磨设备 一体制成 纵向开设 螺栓锁 上表面 前推 球头 凸型 向内 旋接 压紧 正对 直槽 监控 配合 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶棒夹持工装，包括可拆卸连接的上夹具和下夹具，所述下夹具上表面一体制成有V型槽，其特征在于：所述上夹具包括直块；所述直块上部内面至顶面内面为向内倾斜的坡面；所述直块外侧纵向开设有至少两倒凸型通槽；所述下夹具顶面开设有正对倒凸型通槽的下孔；所述凸型通槽和下孔之间旋接有螺栓。
2.根据权利要求1所述的晶棒夹持工装，其特征在于：所述螺栓外侧设置有垫片；所述垫片卡接于凸型通槽过渡处。
3.根据权利要求1所述的晶棒夹持工装，其特征在于：所述上夹具和下夹具内面横向分别开设有直槽；所述直槽内侧固定有横板；所述横板两端凸出直槽，且开设有调节孔；所述调节孔内侧旋接有螺杆；所述螺杆前端固定有球头；两所述球头活动卡接到转杆；所述转杆外部设置有转筒。
4.根据权利要求3所述的晶棒夹持工装，其特征在于：所述转筒外径与横板厚度之和小于直槽槽深。
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