[实用新型]一种用于湿式制程机台的抽气设备

摘要

本实用新型公开一种用于湿式制程机台的抽气设备，包括设置在机台顶部的抽气设备主体、排气机构、冷凝液回收机构，排气机构包括：辅排气管、主排气管、导流板；辅排气管包括：一倾斜段、一平行段、一收缩段，平行段贯穿辅通风孔，倾斜段与平行段的外端连接且向上倾斜，收缩段与平行段的内端连接；冷凝液回收机构包括：竖向输送皮带、辊轮、冷凝液盛装斗，竖向输送皮带设置于收缩段的内侧且可绕辊轮循环运动；竖向输送皮带的底部设有渗漏板，渗漏板的底部设有加热板。本实用新型通过排气机构实现气体的大量均匀排放，冷凝成的液滴会经冷凝液回收机构进入渗漏板上，加热气化排出，增加了抽气排气的效率，有利于保持抽气设备内的干燥程度。

主权项

1.一种用于湿式制程机台的抽气设备，包括设置在机台顶部的抽气设备主体(1)、排气机构、冷凝液回收机构，其特征在于，所述排气机构包括：辅排气管(2)、主排气管(3)、导流板(4)，抽气设备主体(1)的两侧侧壁开设有多个平行的辅通风孔(11)，抽气设备主体(1)的顶端开设有主通风孔(12)，辅排气管(2)和主排气管(3)分别安装在辅通风孔(11)和主通风孔(12)上，导流板(4)设置在主通风孔(12)的下端；所述辅排气管(2)包括：一倾斜段(21)、一平行段(22)、一收缩段(23)，平行段(22)贯穿辅通风孔(11)，倾斜段(21)与平行段(22)的外端连接且向上倾斜，收缩段(23)与平行段(22)的内端连接；所述冷凝液回收机构包括：竖向输送皮带(5)、辊轮(6)、冷凝液盛装斗(7)，竖向输送皮带(5)设置于收缩段(23)的内侧且可绕辊轮(6)循环运动，冷凝液盛装斗(7)通过连接臂(8)与竖向输送皮带(5)连接，冷凝液盛装斗(7)均匀分布在竖向输送皮带(5)上；所述竖向输送皮带(5)的底部设有渗漏板(9)，渗漏板(9)的底部设有加热板(10)。