[实用新型]一种用于湿式制程机台的抽气设备

权利要求书

1.一种用于湿式制程机台的抽气设备，包括设置在机台顶部的抽气设备主体(1)、排气机构、冷凝液回收机构，其特征在于，所述排气机构包括：辅排气管(2)、主排气管(3)、导流板(4)，抽气设备主体(1)的两侧侧壁开设有多个平行的辅通风孔(11)，抽气设备主体(1)的顶端开设有主通风孔(12)，辅排气管(2)和主排气管(3)分别安装在辅通风孔(11)和主通风孔(12)上，导流板(4)设置在主通风孔(12)的下端；

所述辅排气管(2)包括：一倾斜段(21)、一平行段(22)、一收缩段(23)，平行段(22)贯穿辅通风孔(11)，倾斜段(21)与平行段(22)的外端连接且向上倾斜，收缩段(23)与平行段(22)的内端连接；

所述冷凝液回收机构包括：竖向输送皮带(5)、辊轮(6)、冷凝液盛装斗(7)，竖向输送皮带(5)设置于收缩段(23)的内侧且可绕辊轮(6)循环运动，冷凝液盛装斗(7)通过连接臂(8)与竖向输送皮带(5)连接，冷凝液盛装斗(7)均匀分布在竖向输送皮带(5)上；

所述竖向输送皮带(5)的底部设有渗漏板(9)，渗漏板(9)的底部设有加热板(10)。

2.根据权利要求1所述的用于湿式制程机台的抽气设备，其特征在于，所述导流板(4)两端部向下的延伸线与处于外侧的冷凝液盛装斗(7)相交。

3.根据权利要求1所述的用于湿式制程机台的抽气设备，其特征在于，所述收缩段(23)远离平行段(22)的一端接近处于外侧的冷凝液盛装斗(7)。

4.根据权利要求1所述的用于湿式制程机台的抽气设备，其特征在于，所述倾斜段(21)与平行段(22)间的夹角为30-60度，倾斜段(21)上分布有交错设置的挡流板(211)。

5.根据权利要求1所述的用于湿式制程机台的抽气设备，其特征在于，所述渗漏板(9)的长度大于抽气设备主体(1)内壁与处于内侧的冷凝液盛装斗(7)间的距离。

6.根据权利要求1所述的用于湿式制程机台的抽气设备，其特征在于，所述加热板(10)内设有电加热丝，电机热丝的加热温度为120-180℃。