[实用新型]一种用于步进器的激光准直仪有效
| 申请号： | 201821173757.0 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN208654457U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 周杰;张琪 | 申请（专利权）人： | 安徽睿芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/30 | 分类号： | G02B27/30;G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 王桂名 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市经开区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于步进器的激光准直仪，包括放置台、晶片载体、晶片、投影仪、信号处理部，激光管和转换器，放置台顶部通过晶片载体连接有晶片，晶片顶部连接有等距排列的激光准直标记，激光准直标记之间连接有与激光准直标记相适配的间隙，激光准直标记中心处发射出有一次光束，一次光束靠近晶片上连接有二次光束，一次光束和二次光束顶部均贯穿投影仪内晶片上掩膜的第一层图形，进而贯穿晶片上掩膜的第二层图形，投影仪顶部分别通过激光准直X方向光线和激光准直Y方向光线连接有转换器，转换器两侧分别连接有激光管和信号处理部。有益效果：本实用新型对位效果好，套刻精度低，有效的实现了晶片的重复曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 激光准直 晶片 次光束 转换器 投影仪 本实用新型 激光准直仪 信号处理部 方向光线 晶片载体 步进器 放置台 激光管 掩膜 标记中心 等距排列 对位效果 晶片顶部 重复曝光 第一层 贯穿 适配 套刻 发射 | ||
【主权项】：
1.一种用于步进器的激光准直仪，其特征在于，包括放置台(1)、晶片载体(2)、晶片(3)、投影仪(4)、信号处理部(5)，激光管(6)和转换器(7)，所述放置台(1)顶部通过所述晶片载体(2)连接有所述晶片(3)，所述晶片(3)顶部连接有等距排列的激光准直标记(8)，所述激光准直标记(8)之间连接有与所述激光准直标记(8)相适配的间隙(9)，所述激光准直标记(8)中心处发射出有一次光束(10)，所述一次光束(10)靠近所述晶片(3)上连接有二次光束(11)，所述一次光束(10)和所述二次光束(11)顶部均贯穿所述投影仪(4)内所述晶片(3)上掩膜的第一层图形，进而贯穿所述晶片(3)上掩膜的第二层图形，所述投影仪(4)顶部分别通过激光准直X方向光线(12)和激光准直Y方向光线(13)连接有所述转换器(7)，所述转换器(7)两侧分别连接有所述激光管(6)和所述信号处理部(5)，所述晶片(3)上掩膜的第一层图形与第二层图形相配合连接。
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