[实用新型]一种用于步进器的激光准直仪

说明书

本实用新型涉及一种用于步进器的激光准直仪，包括放置台、晶片载体、晶片、投影仪、信号处理部，激光管和转换器，放置台顶部通过晶片载体连接有晶片，晶片顶部连接有等距排列的激光准直标记，激光准直标记之间连接有与激光准直标记相适配的间隙，激光准直标记中心处发射出有一次光束，一次光束靠近晶片上连接有二次光束，一次光束和二次光束顶部均贯穿投影仪内晶片上掩膜的第一层图形，进而贯穿晶片上掩膜的第二层图形，投影仪顶部分别通过激光准直X方向光线和激光准直Y方向光线连接有转换器，转换器两侧分别连接有激光管和信号处理部。有益效果：本实用新型对位效果好，套刻精度低，有效的实现了晶片的重复曝光。

技术领域

本实用新型涉及激光准直设备技术领域，具体涉及一种用于步进器的激光准直仪。

背景技术

激光准直仪由激光器作为光源的发射系统、光电接收系统及附件三大部分组成。激光准直仪将激光束作为定向发射而在空间形成的一条光束作为准直的基准线。

步进器内的激光准直部是晶片的一种对位方式，通过扫描处在激光光束下的晶片上的标记处，检查出标记，计算晶片的中心位置，光束发射的中心位置，使得晶片曝光时各层之间能够顺利套刻，然而现有的激光准直部对发射光束中心处坐标确认效果差，套刻精度低，降低了使用性。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种用于步进器的激光准直仪，提供一种套刻精度高和对位效果好的激光准直仪。

为了实现以上目的，本实用新型采用的技术方案为：一种用于步进器的激光准直仪，包括放置台、晶片载体、晶片、投影仪、信号处理部，激光管和转换器，所述放置台顶部通过所述晶片载体连接有所述晶片，所述晶片顶部连接有等距排列的激光准直标记，所述激光准直标记之间连接有与所述激光准直标记相适配的间隙，所述激光准直标记中心处发射出有一次光束，所述一次光束靠近所述晶片上连接有二次光束，所述一次光束和所述二次光束顶部均贯穿所述投影仪内所述晶片上掩膜的第一层图形，进而贯穿所述晶片上掩膜的第二层图形，所述投影仪顶部分别通过激光准直X方向光线和激光准直Y方向光线连接有所述转换器，所述转换器两侧分别连接有所述激光管和所述信号处理部，所述晶片上掩膜的第一层图形与第二层图形相配合连接。

进一步的，所述晶片底部固定连接有基准面。

进一步的，所述晶片上方设有位于所述投影仪内部的覆盖面。

进一步的，所述覆盖面和所述晶片之间设有位于所述投影仪内部的激光校准面。

进一步的，所述投影仪外壁一侧固定安装有密封圈。

本实用新型的技术效果在于：激光管配合转换器连接信号处理部，通过激光准直X方向光线和激光准直Y方向光线向投影仪内发出光线，使其与晶片进行对位，通过投影仪在一次光束和二次光束下晶片上的激光准直标记，检查出标记，计算晶片的中心位置和光束的发射中心位置，同时在晶片上一次光束和二次光束能够配合基准面进行重复曝光，第一层掩膜图形与第二层掩膜图形准确的套叠在一起，使得晶片曝光时各层之间能够顺利套刻，这样的步进器激光准直仪大大提高了使用性能，对位效果好，套刻精度低，实用性强。

附图说明

图1为本实用新型用于步进器激光准直仪的示意图。

附图标记：1-放置台；2-晶片载体；3-晶片；4-投影仪；5-信号处理部；6-激光管；7-转换器；8-激光准直标记；9-间隙；10-一次光束；11-二次光束；12-激光准直X方向光线；13-激光准直Y方向光线；14-基准面；15-覆盖面；16-激光校准面；17-密封圈。

具体实施方式