[实用新型]用于PECVD自动化上下石墨舟的装置有效
| 申请号： | 201821119572.1 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN208352275U | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 杨晴;朱露;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 朱丽莎 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种用于PECVD自动化上下石墨舟的装置，包括底座、门形架、左机械臂和右机械臂，门形架固定设置在底座上，左机械臂可上下滑动的设置在门形架的左外侧，右机械臂可上下滑动的设置在门形架的右外侧，门形架的左内侧还固定设置有左缓存架，门形架的右内侧还固定设置有右缓存架，左缓存架和右缓存架左右一一对称设置。在更换石墨舟的时候，能够进行自动化取放石墨舟，节约人工成本，且一次就能够放到指定的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 门形架 缓存架 石墨舟 固定设置 上下滑动 右机械臂 左机械臂 自动化 底座 太阳能电池生产设备 本实用新型 对称设置 人工成本 取放 节约 | ||
【主权项】：
1.一种用于PECVD自动化上下石墨舟的装置，其特征在于：包括底座(1)、门形架(2)、左机械臂(31)和右机械臂(32)，门形架(2)固定设置在底座(1)上，左机械臂(31)可上下滑动的设置在门形架(2)的左外侧，右机械臂(32)可上下滑动的设置在门形架(2)的右外侧，门形架(2)的左内侧还固定设置有左缓存架(42)，门形架(2)的右内侧还固定设置有右缓存架(43)，左缓存架(42)和右缓存架(43)左右一一对称设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
