[实用新型]用于PECVD自动化上下石墨舟的装置有效
申请号: | 201821119572.1 | 申请日: | 2018-07-13 |
公开(公告)号: | CN208352275U | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 杨晴;朱露;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 朱丽莎 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 门形架 缓存架 石墨舟 固定设置 上下滑动 右机械臂 左机械臂 自动化 底座 太阳能电池生产设备 本实用新型 对称设置 人工成本 取放 节约 | ||
本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域,尤其涉及一种用于PECVD自动化上下石墨舟的装置,包括底座、门形架、左机械臂和右机械臂,门形架固定设置在底座上,左机械臂可上下滑动的设置在门形架的左外侧,右机械臂可上下滑动的设置在门形架的右外侧,门形架的左内侧还固定设置有左缓存架,门形架的右内侧还固定设置有右缓存架,左缓存架和右缓存架左右一一对称设置。在更换石墨舟的时候,能够进行自动化取放石墨舟,节约人工成本,且一次就能够放到指定的位置。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域,尤其涉及一种用于PECVD自动化上下石墨舟的装置。
背景技术
太阳能电池生产过程中,人工上下石墨舟时,由于石墨舟较大,至少需要两个人抬取,该方法不利于节约人工成本,且人工抬取时经常会一次放不到位,费时费力。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:为了解决人工上下石墨舟费时费力的技术问题,本实用新型提供一种用于PECVD自动化上下石墨舟的装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种用于PECVD自动化上下石墨舟的装置,包括底座、门形架、左机械臂和右机械臂,门形架固定设置在底座上,左机械臂可上下滑动的设置在门形架的左外侧,右机械臂可上下滑动的设置在门形架的右外侧,门形架的左内侧还固定设置有左缓存架,门形架的右内侧还固定设置有右缓存架,左缓存架和右缓存架左右一一对称设置。
进一步,左机械臂和右机械臂的上下滑动的具体结构为:所述门形架左外侧设置有纵向的左机械臂滑槽,左机械臂的后端内侧设置有左机械臂滑块,左机械臂滑块和左机械臂滑槽滑动配合,所述门形架的右外侧设置有纵向的右机械臂滑槽,右机械臂的后端内侧设置有右机械臂滑块,右机械臂滑块和右机械臂滑槽滑动配合,门形架的顶部还设置有用于驱动左机械臂和右机械臂的机械臂驱动装置。
为了便于托抬石墨舟的两端,所述左机械臂的底面上还设置有可前后滑动的左机械爪,左机械臂上设置有左机械爪驱动装置,右机械臂的底面上还设置有可前后滑动的右机械爪,右机械臂上设置有右机械爪驱动装置。
进一步,具体地,所述左机械爪和右机械爪左右对称设置,所述左机械爪包括左滑块和左托板,左滑块的上端和左机械臂的底面上的滑槽滑动配合,左滑块的下端和左托板固定连接,所述右机械爪包括右滑块和右托板,右滑块的上端和右机械臂的底面上的滑槽滑动配合,右滑块的下端和右托板固定连接,左托板和右托板均水平向内延伸。
进一步,具体地,所述的左缓存架包括左连接板和左缓存板,左缓存板和门形架的左内侧通过左连接板固定连接,右缓存架包括右连接板和右缓存板,右缓存板和门形架的右内侧通过右连接板固定连接,左缓存板的外侧和对应的右缓存板的外侧之间的距离为d,左托板内侧和右托板内侧之间的距离为D,d小于D。
为了便于存放石墨舟,所述左缓存板上还设置有前后方向的左输送带,左缓存板上设置有左输送带驱动装置,所述右缓存板上还设置有前后方向的右输送带,右缓存板上设置有右输送带驱动装置。
为了便于运输石墨舟,所述底座的底部还安装有多个万向轮。
本实用新型的有益效果是,本实用新型的用于PECVD自动化上下石墨舟的装置,在更换石墨舟的时候,能够进行自动化取放石墨舟,节约人工成本,且一次就能够放到指定的位置。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型用于PECVD自动化上下石墨舟的装置的主视图。
图2是本实用新型用于PECVD自动化上下石墨舟的装置的立体图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造