[实用新型]一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置有效
申请号: | 201821095166.6 | 申请日: | 2018-07-11 |
公开(公告)号: | CN208580726U | 公开(公告)日: | 2019-03-05 |
发明(设计)人: | 叶剑 | 申请(专利权)人: | 佛山科易自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;B28D5/00;B28D5/04 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 连围 |
地址: | 528130 广东省佛山市三水区中心*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置,其结构包括装置保护外壳、切割传动机箱、穿插传动机箱,装置保护外壳设有底部支撑脚、辅助步进电机、控制传动电机、电机主轴,切割传动机箱设有触发传动机构、切割控制机构、切割传送台,穿插传动机箱设有晶舟盒传送台、齿轮组控制机构、反转电路机构,本实用新型的有益效果是:能够通过自动启动内部传动机构控制切割和插片工作,在完成插片后通过自动启动反转电路,重新传送空的晶舟盒,工作期间不要进行人工操作,节省了人力物力,提高生产加工效率。 | ||
搜索关键词: | 传动机箱 切割 本实用新型 蓝宝石 反转电路 装置保护 自动插片 自动启动 衬底片 传送台 晶舟盒 插片 切片 穿插 切割控制机构 步进电机 传动电机 底部支撑 电机主轴 工作期间 人工操作 人力物力 生产加工 重新传送 齿轮组 触发 | ||
【主权项】:
1.一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置,其结构包括装置保护外壳、切割传动机箱、穿插传动机箱,所述装置保护外壳垂直焊接于切割传动机箱与穿插传动机箱外表面,所述切割传动机箱垂直焊接于穿插传动机箱上方,所述穿插传动机箱垂直焊接于装置保护外壳底端部分,其特征在于:所述装置保护外壳设有底部支撑脚、辅助步进电机、控制传动电机、电机主轴,所述底部支撑脚通过螺栓铆合连接于装置保护外壳底部,所述辅助步进电机通过螺栓铆合连接于穿插传动机箱上表面,所述控制传动电机通过螺栓铆合连接于装置保护外壳上方,所述电机主轴通过电连接于控制传动电机与切割传动机箱之间;所述切割传动机箱设有触发传动机构、切割控制机构、切割传送台,所述触发传动机构通过螺栓铆合连接于切割传动机箱内壁上,所述切割控制机构通过螺栓铆合连接于切割传送台上方,所述切割传送台通过螺栓铆合连接于切割传动机箱与穿插传动机箱之间;所述穿插传动机箱设有晶舟盒传送台、齿轮组控制机构、反转电路机构,所述晶舟盒传送台垂直焊接于装置保护外壳侧表面上,所述齿轮组控制机构通过螺栓铆合连接于穿插传动机箱内部底面上,所述反转电路机构通过螺栓与齿轮组控制机构铆合连接于同一水平面上,所述反转电路机构通过螺栓连接于切割传送台下方。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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