[实用新型]一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置有效

专利信息
申请号: 201821095166.6 申请日: 2018-07-11
公开(公告)号: CN208580726U 公开(公告)日: 2019-03-05
发明(设计)人: 叶剑 申请(专利权)人: 佛山科易自动化科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;B28D5/00;B28D5/04
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 连围
地址: 528130 广东省佛山市三水区中心*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 传动机箱 切割 本实用新型 蓝宝石 反转电路 装置保护 自动插片 自动启动 衬底片 传送台 晶舟盒 插片 切片 穿插 切割控制机构 步进电机 传动电机 底部支撑 电机主轴 工作期间 人工操作 人力物力 生产加工 重新传送 齿轮组 触发
【说明书】:

实用新型公开了一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置,其结构包括装置保护外壳、切割传动机箱、穿插传动机箱,装置保护外壳设有底部支撑脚、辅助步进电机、控制传动电机、电机主轴,切割传动机箱设有触发传动机构、切割控制机构、切割传送台,穿插传动机箱设有晶舟盒传送台、齿轮组控制机构、反转电路机构,本实用新型的有益效果是:能够通过自动启动内部传动机构控制切割和插片工作,在完成插片后通过自动启动反转电路,重新传送空的晶舟盒,工作期间不要进行人工操作,节省了人力物力,提高生产加工效率。

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石衬底片加工领域,具体地说是一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置。

背景技术

随着LED领域工艺技术的发展,以及整个LED行业的迅速壮大,对GaN基LED器件PSS衬底的研究也逐渐增多,如今各厂家纷纷采用PSS技术,以提高LED器件的光提取效率,PSS的图形种类也较多,目前使用比较普遍的一种形貌类似圆锥形的图形,图形周期约为3μm,高度约为1.5μm,本文主要针对这种图形做了一些刻蚀工艺研究,并根据刻蚀研究结果进行趋势性分析,同时也得到了一些其他图形的刻蚀结果。

蓝宝石晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能,广泛应用于高亮度LED衬底材料,伴随着近年来LED照明灯具的大规模推广,蓝宝石衬底的产量也大规模攀升。

目前,因为传统的蓝宝石衬底切片后都是依靠人工手工作业,将切片后的衬底片一片一片的手工插入晶舟盒内,操作过程中存在人工效率慢、劳动强度大,同时易造成衬底片之间互相碰撞形成崩边等缺陷。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术的不足,提供一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置。

本实用新型采用如下技术方案来实现:一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置,其结构包括装置保护外壳、切割传动机箱、穿插传动机箱,所述装置保护外壳垂直焊接于切割传动机箱与穿插传动机箱外表面,所述切割传动机箱垂直焊接于穿插传动机箱上方,所述穿插传动机箱垂直焊接于装置保护外壳底端部分,所述装置保护外壳设有底部支撑脚、辅助步进电机、控制传动电机、电机主轴,所述底部支撑脚通过螺栓铆合连接于装置保护外壳底部,所述辅助步进电机通过螺栓铆合连接于穿插传动机箱上表面,所述控制传动电机通过螺栓铆合连接于装置保护外壳上方,所述电机主轴通过电连接于控制传动电机与切割传动机箱之间;所述切割传动机箱设有触发传动机构、切割控制机构、切割传送台,所述触发传动机构通过螺栓铆合连接于切割传动机箱内壁上,所述切割控制机构通过螺栓铆合连接于切割传送台上方,所述切割传送台通过螺栓铆合连接于切割传动机箱与穿插传动机箱之间;所述穿插传动机箱设有晶舟盒传送台、齿轮组控制机构、反转电路机构,所述晶舟盒传送台垂直焊接于装置保护外壳侧表面上,所述齿轮组控制机构通过螺栓铆合连接于穿插传动机箱内部底面上,所述反转电路机构通过螺栓与齿轮组控制机构铆合连接于同一水平面上,所述反转电路机构通过螺栓连接于切割传送台下方。

作为优化,所述触发传动机构设有第一传动滑轮、第一牵引线、第二传动滑轮、控制转轴、牵引线固定环、触发挡板,所述第一传动滑轮通过螺栓铆合连接于切割传动机箱内壁上,所述第一牵引线连接于牵引线固定环与切割控制机构之间。

作为优化,所述第二传动滑轮通过螺栓铆合连接于切割传动机箱内壁上,所述控制转轴通过螺栓铆合连接于切割传送台上方,所述控制转轴通过螺栓铆合连接于切割传动机箱内壁上,所述牵引线固定环垂直焊接于触发挡板顶端,所述触发挡板通过螺纹啮合连接于控制转轴上。

作为优化,所述切割控制机构设有固定支架、控制齿轮、液压主杆、控制拉环、液压支杆、切割刀片,所述固定支架通过螺栓铆合连接于切割传动机箱内壁上,所述控制齿轮通过螺纹啮合连接于固定支架上,所述液压主杆通过螺纹啮合连接于控制齿轮下方,所述控制拉环嵌设于液压主杆外表面上,所述液压支杆通过过度配合连接于液压主杆下方,所述切割刀片嵌设于液压支杆底端。

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