[实用新型]一种高压离子轰击的真空镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括镀膜机真空室，镀膜机真空室的一端设置有真空泵，镀膜机真空室的另一端设置有加热室，镀膜机真空室的内壁上设置有温度感应器，镀膜机真空室与加热室之间设置有第一连接管道，镀膜机真空室与真空泵之间设置有第二连接管道，第一连接管道上设置有小型电机，小型电机的一端设置有转轴，转轴延伸至第一连接管道的内部，位于第一连接管道内部的转轴的外侧设置有保温隔热挡板。本实用新型通过温度感应器检测镀膜机真空室的内部温度，并通过微型电机控制保温隔热挡板自动控制镀膜机真空室的内部温度，从而提高膜层的结合力，又不会使晶粒过大，极大的提高了真空镀膜机的效率。

主权项

1.一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括镀膜机真空室（1），其特征在于，所述镀膜机真空室（1）的一端设置有真空泵（2），所述镀膜机真空室（1）的另一端设置有加热室（3），所述镀膜机真空室（1）的内壁上设置有温度感应器（4），所述镀膜机真空室（1）与加热室（3）之间设置有第一连接管道（5），所述镀膜机真空室（1）与真空泵（2）之间设置有第二连接管道（6），所述第一连接管道（5）上设置有小型电机（7），所述小型电机（7）的一端设置有转轴（8），所述转轴（8）延伸至第一连接管道（5）的内部，所述位于第一连接管道（5）内部的转轴（8）的外侧设置有保温隔热挡板（9），所述保温隔热挡板（9）与第一连接管道（5）横截面积的形状大小均相同，所述镀膜机真空室（1）的内部设置有镀膜组件（10），所述镀膜组件（10）的两侧均设置有镀膜夹具（11）。