[实用新型]一种高压离子轰击的真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括镀膜机真空室，镀膜机真空室的一端设置有真空泵，镀膜机真空室的另一端设置有加热室，镀膜机真空室的内壁上设置有温度感应器，镀膜机真空室与加热室之间设置有第一连接管道，镀膜机真空室与真空泵之间设置有第二连接管道，第一连接管道上设置有小型电机，小型电机的一端设置有转轴，转轴延伸至第一连接管道的内部，位于第一连接管道内部的转轴的外侧设置有保温隔热挡板。本实用新型通过温度感应器检测镀膜机真空室的内部温度，并通过微型电机控制保温隔热挡板自动控制镀膜机真空室的内部温度，从而提高膜层的结合力，又不会使晶粒过大，极大的提高了真空镀膜机的效率。

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜机，特别涉及一种高压离子轰击的真空镀膜机。

背景技术

在真空镀膜机镀膜的过程中，随着温度的升高，膜层的结合力越强，离子轰击的能量越大，然而温度越大，晶粒粗大，降低了膜层的硬度，因此，温度与真空镀膜机的效率紧密相关，现有申请号CN201120488077.X的一种高压离子轰击的真空镀膜机，虽然降低了成本，节省了时间，但是没有控温装置，无法保证真空镀膜机镀膜的质量，降低了真空镀膜机镀膜的效率。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种高压离子轰击的真空镀膜机，通过温度感应器检测镀膜机真空室的内部温度，并通过微型电机控制保温隔热挡板自动控制镀膜机真空室的内部温度，从而提高膜层的结合力，又不会使晶粒过大，极大的提高了真空镀膜机的效率。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括镀膜机真空室，所述镀膜机真空室的一端设置有真空泵，所述镀膜机真空室的另一端设置有加热室，所述镀膜机真空室的内壁上设置有温度感应器，所述镀膜机真空室与加热室之间设置有第一连接管道，所述镀膜机真空室与真空泵之间设置有第二连接管道，所述第一连接管道上设置有小型电机，所述小型电机的一端设置有转轴，所述转轴延伸至第一连接管道的内部，所述位于第一连接管道内部的转轴的外侧设置有保温隔热挡板，所述保温隔热挡板与第一连接管道横截面积的形状大小均相同，所述镀膜机真空室的内部设置有镀膜组件，所述镀膜组件的两侧均设置有镀膜夹具。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述保温隔热挡板由硅铝纤维材料制作而成。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述小型电机通过转轴与保温隔热挡板传动连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述温度感应器与小型电机电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述加热室的内部设置有若干个加热管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过温度感应器检测镀膜机真空室的内部温度，并通过微型电机控制保温隔热挡板自动控制镀膜机真空室的内部温度，从而提高膜层的结合力，又不会使晶粒过大，极大的提高了真空镀膜机的效率。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的局部结构示意图之一；

图3是本实用新型的局部结构示意图之二；

图中：1、镀膜机真空室；2、真空泵；3、加热室；4、温度感应器；5、第一连接管道；6、第二连接管道；7、小型电机；8、转轴；9、保温隔热挡板；10、镀膜组件；11、镀膜夹具；12、加热管。

具体实施方式