[实用新型]一种高压离子轰击的真空镀膜机

权利要求书

1.一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括镀膜机真空室（1），其特征在于，所述镀膜机真空室（1）的一端设置有真空泵（2），所述镀膜机真空室（1）的另一端设置有加热室（3），所述镀膜机真空室（1）的内壁上设置有温度感应器（4），所述镀膜机真空室（1）与加热室（3）之间设置有第一连接管道（5），所述镀膜机真空室（1）与真空泵（2）之间设置有第二连接管道（6），所述第一连接管道（5）上设置有小型电机（7），所述小型电机（7）的一端设置有转轴（8），所述转轴（8）延伸至第一连接管道（5）的内部，所述位于第一连接管道（5）内部的转轴（8）的外侧设置有保温隔热挡板（9），所述保温隔热挡板（9）与第一连接管道（5）横截面积的形状大小均相同，所述镀膜机真空室（1）的内部设置有镀膜组件（10），所述镀膜组件（10）的两侧均设置有镀膜夹具（11）。

2.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机，其特征在于，所述保温隔热挡板（9）由硅铝纤维材料制作而成。

3.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机，其特征在于，所述小型电机（7）通过转轴（8）与保温隔热挡板（9）传动连接。

4.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机，其特征在于，所述温度感应器（4）与小型电机（7）电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机，其特征在于，所述加热室（3）的内部设置有若干个加热管（12）。