[实用新型]脉冲激光沉积设备的水冷循环装置及脉冲激光沉积系统有效
| 申请号： | 201821036025.7 | 申请日： | 2018-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN208632633U | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 代瑞娜;张晓军;胡凯;陈志强;方安安;姜鹭;潘恒;王岩;王峻岭 | 申请（专利权）人： | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市华优知识产权代理事务所(普通合伙) 44319 | 代理人： | 余薇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜材料加工技术领域，公开了一种脉冲激光沉积设备的水冷循环装置及脉冲激光沉积系统。所述脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，包括设置在脉冲激光沉积设备外壳上的第一水冷管以及水冷机，所述第一水冷管的端口与所述水冷机的第一端口密封连接，所述水冷机用于向所述第一水冷管循环输出水冷液。本实用新型的技术方案，使脉冲激光沉积设备的外壳及真空仓可持续降温，避免了薄膜被杂质污染和被氧化，提升了脉冲激光沉积设备薄膜制备的质量、重复性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲激光沉积设备 水冷循环装置 水冷管 水冷机 脉冲激光沉积系统 本实用新型 加工技术领域 薄膜材料 薄膜制备 端口密封 杂质污染 真空仓 水冷 薄膜 输出 | ||
【主权项】：
1.一种脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，包括设置在脉冲激光沉积设备外壳上的第一水冷管以及水冷机，所述第一水冷管的端口与所述水冷机的第一端口密封连接，所述水冷机用于向所述第一水冷管循环输出水冷液。
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- 本发明公开一种增大SYCO‑314薄膜激光感生电压的方法，属于功能薄膜材料领域，在Sr3YCo4O10.5+δ靶材中掺入Ca并通过脉冲激光沉积用Sr3‑xCaxYCo4O10.5+δ多晶靶材在c轴倾斜的单晶衬底上制备Sr3‑xCaxYCo4O10.5+δ外延薄膜，从而获得增大激光感生电压的薄膜；本发明能显著提高Sr3YCo4O10.5+δ薄膜激光感生电压，且重复性好、易于实现。
- 一种提高动铁部件抗腐蚀性能的方法-201611072127.X
- 郭新建 - 深圳倍声声学技术有限公司
- 2016-11-29 - 2019-04-02 - C23C14/28
- 本发明公开了动铁技术领域的一种提高动铁部件抗腐蚀性能的方法，所述方法具体是采用真空蒸镀的方法在动铁部件表面沉积保护材料，形成保护层；其中，所述保护材料在所述动铁部件表面的沉积速度是先增加后减小的。与现有技术相比，本发明的优势在于：调节了保护材料在动铁部件表面的致密性分布，最终实现了保护层从致密到疏松、再到致密的层状分布，这样的分布结构不仅能起到极其良好的防腐蚀效果；通过致密‑疏松‑致密的保护层结构不仅降低了部件内应力所引起的破坏作用，还实现对外力良好的缓冲作用，具有良好的抗刮擦效果；不仅防止保护层的脱落，关键是具有足够的美感。
- 一种超薄镧锶锰氧薄膜界面死层的改善方法-201710015480.2
- 宁兴坤;陈明敬;王淑芳;王江龙;傅广生 - 河北大学
- 2017-01-10 - 2019-04-02 - C23C14/28
- 本发明提供了一种超薄镧锶锰氧薄膜界面死层的改善方法，包括如下步骤：（a）对SrTiO3基板进行表面台阶处理，获得具有TiO2表面台阶的基板；（b）采用脉冲激光法在步骤（a）所得的基板上沉积LaAlO3薄膜，使得在LaAlO3/SrTiO3界面出现二维电子气；（c）采用脉冲激光法在步骤（b）所得的LaAlO3/SrTiO3上沉积超薄La0.7Sr0.3MnO3薄膜。本发明首先采用酸将SrTiO3基板处理为具有特定宽度的台阶状态，然后在其上沉积LaAlO3薄膜，使得在界面处形成一层二维电子气，最后再沉积La0.7Sr0.3MnO3薄膜，从而减少甚至除去镧锶锰氧界面死层，该界面死层可通过控制LaAlO3的厚度和生长条件进行调控。本发明制备工艺简单，适用范围广，利于实用化，具有广泛应用前景。
- 脉冲激光沉积设备的水冷循环装置及脉冲激光沉积系统-201821036025.7
- 代瑞娜;张晓军;胡凯;陈志强;方安安;姜鹭;潘恒;王岩;王峻岭 - 深圳市矩阵多元科技有限公司
- 2018-07-02 - 2019-03-22 - C23C14/28
- 本实用新型涉及薄膜材料加工技术领域，公开了一种脉冲激光沉积设备的水冷循环装置及脉冲激光沉积系统。所述脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，包括设置在脉冲激光沉积设备外壳上的第一水冷管以及水冷机，所述第一水冷管的端口与所述水冷机的第一端口密封连接，所述水冷机用于向所述第一水冷管循环输出水冷液。本实用新型的技术方案，使脉冲激光沉积设备的外壳及真空仓可持续降温，避免了薄膜被杂质污染和被氧化，提升了脉冲激光沉积设备薄膜制备的质量、重复性和稳定性。
- 脉冲激光沉积系统及其薄膜制备方法-201811172619.5
- 胡凯;代瑞娜;张晓军;陈志强;方安安;姜鹭;潘恒;王岩;王峻岭 - 深圳市矩阵多元科技有限公司
- 2018-10-09 - 2019-03-19 - C23C14/28
- 本发明涉及薄膜制造技术领域，尤其涉及一种脉冲激光沉积系统及其薄膜制备方法。所述脉冲激光沉积系统包括激光器、真空腔、基片加热台、抽真空设备和气氛气体通入设备，还包括靶材挡板、厚度测试模块、薄膜参数测试模块和计算机设备，所述计算机设备用于设置薄膜制备参数并对应控制薄膜制备环境、以及根据所述厚度测试模块测试的薄膜的沉积速率和所述薄膜参数测试模块测试的已沉积薄膜的参数数据调整薄膜的制备参数。通过控制基片加热台和靶材转盘转动而切换基片和靶材，并根据测试的薄膜沉积速率和已沉积薄膜的参数数据调整优化膜的制备参数，降低了薄膜制备的时间和成本，提升了薄膜制备的工作效率和控制便捷性。
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