[实用新型]一种碳化硅清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种碳化硅清洗装置，包括槽体，槽体两侧的中部对称设有横杆，两个横杆的一侧均固定设有竖杆，两个竖杆顶部的一侧通过连接杆固定连接，连接杆底端的两侧对称设有气缸，两个气缸的底端均通过活塞与电机盒的顶端固定连接，两个电机盒的一侧均通过槽体内侧壁对称开设的滑槽与槽体的两侧内壁滑动连接，两个电机盒内部均套设有电机，两个电机的输出端均通过对应设置的联轴器与工件两侧对应设置的凸块固定连接，工件内部的上下两端对称设置有若干个夹取装置，槽体内部的底部设置有底板，本实用新型一种碳化硅清洗装置，可以解决衬底表面受到波型能量不同，衬底无法均匀受力且无法叠放清洗的问题。

主权项

1.一种碳化硅清洗装置，包括槽体(1)，其特征在于，所述槽体(1)两侧的中部对称设有横杆(16)，两个所述横杆(16)的一侧均固定设有竖杆(15)，两个所述竖杆(15)顶部的一侧通过连接杆(13)固定连接，所述连接杆(13)底端的两侧对称设有气缸(14)，两个所述气缸(14)的底端均通过活塞(12)与电机盒(8)的顶端固定连接，两个所述电机盒(8)的一侧均通过槽体(1)内侧壁对称开设的滑槽(18)与槽体(1)的两侧内壁滑动连接，两个所述电机盒(8)内部均套设有电机(20)，两个所述电机(20)的输出端均通过对应设置的联轴器(4)与工件(9)两侧对应设置的凸块(11)固定连接，所述工件(9)内部的上下两端对称设置有若干个夹取装置，所述槽体(1)内的底部设置有底板(5)，所述底板(5)与槽体(1)的内壁之间形成一个容纳腔室，所述容纳腔室内对称设置有超声波盒(2)，两个所述超声波盒(2)内均套设有两个超声波发生器(3)。