[实用新型]一种碳化硅清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种碳化硅清洗装置，包括槽体，槽体两侧的中部对称设有横杆，两个横杆的一侧均固定设有竖杆，两个竖杆顶部的一侧通过连接杆固定连接，连接杆底端的两侧对称设有气缸，两个气缸的底端均通过活塞与电机盒的顶端固定连接，两个电机盒的一侧均通过槽体内侧壁对称开设的滑槽与槽体的两侧内壁滑动连接，两个电机盒内部均套设有电机，两个电机的输出端均通过对应设置的联轴器与工件两侧对应设置的凸块固定连接，工件内部的上下两端对称设置有若干个夹取装置，槽体内部的底部设置有底板，本实用新型一种碳化硅清洗装置，可以解决衬底表面受到波型能量不同，衬底无法均匀受力且无法叠放清洗的问题。

技术领域

本实用新型涉及一种清洗装置，特别涉及一种碳化硅清洗装置，属于碳化硅清洗技术领域。

背景技术

在传统的衬底清洗过程中，超声波发射器装置于槽体下方，搭配上下摇摆进行清洗，由于超声波由底部传导，其波型与路径均为单一方向，这将导致：1.衬底表面会受到波型能量不同，使表面损伤2.上下摇摆方式，衬底仍在一种波形上做移动，无法均匀受力3.清洗产能受到限制，无法叠放清洗。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅清洗装置，以解决上述背景技术中提出的衬底表面受到波型能量不同，衬底无法均匀受力且无法叠放清洗的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅清洗装置，包括槽体，所述槽体两侧的中部对称设有横杆，两个所述横杆的一侧均固定设有竖杆，两个所述竖杆顶部的一侧通过连接杆固定连接，所述连接杆底端的两侧对称设有气缸，两个所述气缸的底端均通过活塞与电机盒的顶端固定连接，两个所述电机盒的一侧均通过槽体内侧壁对称开设的滑槽与槽体的两侧内壁滑动连接，两个所述电机盒内部均套设有电机，两个所述电机的输出端均通过对应设置的联轴器与工件两侧对应设置的凸块固定连接，所述工件内部的上下两端对称设置有若干个夹取装置，所述槽体内的底部设置有底板，所述底板与槽体的内壁之间形成一个容纳腔室，所述容纳腔室内对称设置有超声波盒，两个所述超声波盒内均套设有两个超声波发生器。

作为本实用新型的一种优选技术方案，若干个所述夹取装置包括若干个两两对应设置的弹簧柱和若干个夹板，每两个相对应的所述弹簧柱的一端均固定连接有夹板，两个所述夹板之间连接有衬底。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述槽体底部的两侧分别设有充电接口和控制面板，所述控制面板内设有八个超声波发生器控制开关、两个气缸控制开关和两个电机控制开关。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述充电接口与外接电源电性连接，八个所述超声波发生器、两个气缸和两个电机分别通过八个超声波发生器控制开关、两个气缸控制开关和两个电机控制开关与外接电源电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型一种碳化硅清洗装置，通过设置槽体，便于盛放酸性或碱性清洗液，通过设置气缸、活塞和滑槽，便于电机盒在槽体的内壁上做纵向的往复直线运动，通过设置联轴器，便于通过电机的转轴带动工件旋转，通过设置弹簧柱和夹板，便于夹取不同尺寸的衬底，通过设置超声波发生器，利用下部和侧边超声震荡，机械振动传入清洗液，超声波疏密相间地向前传导，增加衬底清洗能力与均匀性，通过设置超声波盒，便于对超声波发生器进行保护。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型的夹取装置结构示意图；

图3为本实用新型的槽体内壁结构示意图。

图中：1、槽体；2、超声波盒；3、超声波发生器；4、联轴器；5、底板；6、衬底；7、弹簧柱；8、电机盒；9、工件；10、夹板；11、凸块；12、活塞；13、连接杆；14、气缸；15、竖杆；16、横杆；17、充电接口；18、滑槽；19、控制面板；20、电机。

具体实施方式