[实用新型]一种碳化硅清洗装置

权利要求书

1.一种碳化硅清洗装置，包括槽体(1)，其特征在于，所述槽体(1)两侧的中部对称设有横杆(16)，两个所述横杆(16)的一侧均固定设有竖杆(15)，两个所述竖杆(15)顶部的一侧通过连接杆(13)固定连接，所述连接杆(13)底端的两侧对称设有气缸(14)，两个所述气缸(14)的底端均通过活塞(12)与电机盒(8)的顶端固定连接，两个所述电机盒(8)的一侧均通过槽体(1)内侧壁对称开设的滑槽(18)与槽体(1)的两侧内壁滑动连接，两个所述电机盒(8)内部均套设有电机(20)，两个所述电机(20)的输出端均通过对应设置的联轴器(4)与工件(9)两侧对应设置的凸块(11)固定连接，所述工件(9)内部的上下两端对称设置有若干个夹取装置，所述槽体(1)内的底部设置有底板(5)，所述底板(5)与槽体(1)的内壁之间形成一个容纳腔室，所述容纳腔室内对称设置有超声波盒(2)，两个所述超声波盒(2)内均套设有两个超声波发生器(3)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅清洗装置，其特征在于：若干个所述夹取装置包括若干个两两对应设置的弹簧柱(7)和若干个夹板(10)，每两个相对应的所述弹簧柱(7)的一端均固定连接有夹板(10)，两个所述夹板(10)之间连接有衬底(6)。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅清洗装置，其特征在于：所述槽体(1)底部的两侧分别设有充电接口(17)和控制面板(19)，所述控制面板(19)内设有八个超声波发生器控制开关、两个气缸控制开关和两个电机控制开关。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅清洗装置，其特征在于：所述充电接口(17)与外接电源电性连接，八个所述超声波发生器(3)、两个气缸(14)和两个电机(20)分别通过八个超声波发生器控制开关、两个气缸控制开关和两个电机控制开关与外接电源电性连接。