[实用新型]半导体单晶炉籽晶夹头

摘要

本实用新型提供半导体单晶炉籽晶夹头，籽晶重锤是采用钼材料整体加工的籽晶重锤，下端连接螺纹，与籽晶夹套上端的内螺纹连接；籽晶夹套为带内锥的钼材料籽晶夹套，上端设计有内螺纹与籽晶重锤连接，中间设计有散热小孔；石墨衬套是带内外锥面的高强度石墨衬套，外锥面与籽晶夹套配合安装；籽晶晶种是引晶用的籽晶晶种，材质为纯单晶硅，与石墨衬套内锥面紧密配合，一起装入到籽晶夹套内，采用锥度过渡，籽晶减少因局部应力而容易断裂。

主权项

1.半导体单晶炉籽晶夹头，其特征在于：包括籽晶重锤(1)、籽晶夹套(2)、石墨衬套(3)和籽晶晶种(4)；所述籽晶重锤(1)下端为圆柱形结构，圆柱形外表面加工有外连接螺纹；所述籽晶夹套(2)为中空的筒状结构；所述筒状结构上段加工有内连接螺纹，所述内连接螺纹能够与所述外连接螺纹配套连接；所述筒状结构中段沿周向均匀加工有若干个散热小孔(5)；所述筒状结构下段内部加工为第一内锥面，所述第一内锥面的直径自上而下逐渐变小；所述石墨衬套(3)加工有内外锥面；所述内外锥面分别为第一外锥面和第二内锥面，所述第一外锥面与所述第一内锥面的锥面角度相同，且两者紧密贴合安装；所述第二内锥面的直径自上而下逐渐变小；所述籽晶晶种(4)上端加工有第二外锥面，所述第二外锥面与所述第二内锥面的锥面角度相同，且两者紧密贴合安装。