[实用新型]一种磨前自动测电阻率及PN型的设备有效
申请号: | 201820922177.0 | 申请日: | 2018-06-14 |
公开(公告)号: | CN208422863U | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 温宁;安陶然 | 申请(专利权)人: | 沈阳昊霖智能装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人: | 王荣亮 |
地址: | 110141 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种磨前自动测电阻率及PN型的设备,解决传统检测方式存在的人工成本高,劳动强度大,生产效率低,错误率高,影响产成品质量的问题。包括设置在输送线侧部的机箱放置柜,其特征在于:机箱放置柜位于输送线上方的上端部,设置有X轴直线运动模组;X轴直线运动模组的X轴滑动台上设置有Y轴直线运动模组,Y轴直线运动模组的Y轴滑动台上设置有检测机构;检测机构的检测连接架上分别设置有第一伸缩气缸和第二伸缩气缸;第一伸缩气缸下部的第一支撑架上设置有电阻率检测笔,第二伸缩气缸下部的第二支撑架上设置有PN型检测笔。其设计合理,结构紧凑,自动化程度高,检测精确性好,劳动强度低,可有效提升生产效率,降低人工成本。 | ||
搜索关键词: | 伸缩气缸 模组 人工成本 生产效率 滑动 电阻率 放置柜 输送线 支撑架 机箱 传统检测方式 电阻率检测 错误率 检测笔 连接架 上端部 检测 自动化 | ||
【主权项】:
1.一种磨前自动测电阻率及PN型的设备,包括设置在输送线(1)侧部的机箱放置柜(4),其特征在于:所述机箱放置柜(4)位于输送线(1)上方的上端部,设置有沿输送线(1)传送方向布置的X轴直线运动模组(5);X轴直线运动模组(5)的X轴滑动台(12)上,设置有沿与输送线(1)传送方向相垂直的水平方向布置的Y轴直线运动模组(6),且Y轴直线运动模组(6)位于输送线(1)的上方;所述Y轴直线运动模组(6)的Y轴滑动台(13)上设置有检测机构(7),检测机构(7)包括与Y轴滑动台(13)相连的检测连接架(14),检测连接架(14)上分别设置有竖直向下布置的第一伸缩气缸(15)和第二伸缩气缸(18);所述第一伸缩气缸(15)下部的伸缩端设置有第一支撑架(16),第一支撑架(16)上可拆卸式设置有电阻率检测笔(17);所述第二伸缩气缸(18)下部的伸缩端设置有第二支撑架(19),第二支撑架(19)上可拆卸式设置有PN型检测笔(20)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳昊霖智能装备有限公司,未经沈阳昊霖智能装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201820922177.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造