[实用新型]一种磨前自动测电阻率及PN型的设备有效

专利信息
申请号: 201820922177.0 申请日: 2018-06-14
公开(公告)号: CN208422863U 公开(公告)日: 2019-01-22
发明(设计)人: 温宁;安陶然 申请(专利权)人: 沈阳昊霖智能装备有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 代理人: 王荣亮
地址: 110141 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 伸缩气缸 模组 人工成本 生产效率 滑动 电阻率 放置柜 输送线 支撑架 机箱 传统检测方式 电阻率检测 错误率 检测笔 连接架 上端部 检测 自动化
【权利要求书】:

1.一种磨前自动测电阻率及PN型的设备,包括设置在输送线(1)侧部的机箱放置柜(4),其特征在于:所述机箱放置柜(4)位于输送线(1)上方的上端部,设置有沿输送线(1)传送方向布置的X轴直线运动模组(5);X轴直线运动模组(5)的X轴滑动台(12)上,设置有沿与输送线(1)传送方向相垂直的水平方向布置的Y轴直线运动模组(6),且Y轴直线运动模组(6)位于输送线(1)的上方;所述Y轴直线运动模组(6)的Y轴滑动台(13)上设置有检测机构(7),检测机构(7)包括与Y轴滑动台(13)相连的检测连接架(14),检测连接架(14)上分别设置有竖直向下布置的第一伸缩气缸(15)和第二伸缩气缸(18);所述第一伸缩气缸(15)下部的伸缩端设置有第一支撑架(16),第一支撑架(16)上可拆卸式设置有电阻率检测笔(17);所述第二伸缩气缸(18)下部的伸缩端设置有第二支撑架(19),第二支撑架(19)上可拆卸式设置有PN型检测笔(20)。

2.根据权利要求1所述的磨前自动测电阻率及PN型的设备,其特征在于:所述输送线(1)沿传送方向的前端的侧部设置有挡停机构(3),挡停机构(3)由水平布置的挡停气缸(8)构成,挡停气缸(8)的伸缩端朝向输送线(1)的内侧;挡停气缸(8)伸缩端的前部设置有伸缩挡板(10);挡停机构(3)挡停气缸(8)的缸体通过挡停连接架(9)与输送线(1)的侧部相连。

3.根据权利要求2所述的磨前自动测电阻率及PN型的设备,其特征在于:所述挡停机构(3)的伸缩挡板(10)朝向待检测硅锭(2)前端的一侧,设置有转动挡轮(11)。

4.根据权利要求1所述的磨前自动测电阻率及PN型的设备,其特征在于:所述检测机构(7)的第一支撑架(16)包括与第一伸缩气缸(15)下部伸缩端相连的缓冲连接板(21),缓冲连接板(21)上设置有竖直布置的直线轴承(22),直线轴承(22)内设置有弹性缓冲立轴(23),弹性缓冲立轴(23)的下端部设置有T型安装板(24);所述电阻率检测笔(17)竖直设置在T型安装板(24)的中部凸缘上。

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