[实用新型]一种磨前自动测电阻率及PN型的设备有效
申请号: | 201820922177.0 | 申请日: | 2018-06-14 |
公开(公告)号: | CN208422863U | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 温宁;安陶然 | 申请(专利权)人: | 沈阳昊霖智能装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人: | 王荣亮 |
地址: | 110141 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 伸缩气缸 模组 人工成本 生产效率 滑动 电阻率 放置柜 输送线 支撑架 机箱 传统检测方式 电阻率检测 错误率 检测笔 连接架 上端部 检测 自动化 | ||
1.一种磨前自动测电阻率及PN型的设备,包括设置在输送线(1)侧部的机箱放置柜(4),其特征在于:所述机箱放置柜(4)位于输送线(1)上方的上端部,设置有沿输送线(1)传送方向布置的X轴直线运动模组(5);X轴直线运动模组(5)的X轴滑动台(12)上,设置有沿与输送线(1)传送方向相垂直的水平方向布置的Y轴直线运动模组(6),且Y轴直线运动模组(6)位于输送线(1)的上方;所述Y轴直线运动模组(6)的Y轴滑动台(13)上设置有检测机构(7),检测机构(7)包括与Y轴滑动台(13)相连的检测连接架(14),检测连接架(14)上分别设置有竖直向下布置的第一伸缩气缸(15)和第二伸缩气缸(18);所述第一伸缩气缸(15)下部的伸缩端设置有第一支撑架(16),第一支撑架(16)上可拆卸式设置有电阻率检测笔(17);所述第二伸缩气缸(18)下部的伸缩端设置有第二支撑架(19),第二支撑架(19)上可拆卸式设置有PN型检测笔(20)。
2.根据权利要求1所述的磨前自动测电阻率及PN型的设备,其特征在于:所述输送线(1)沿传送方向的前端的侧部设置有挡停机构(3),挡停机构(3)由水平布置的挡停气缸(8)构成,挡停气缸(8)的伸缩端朝向输送线(1)的内侧;挡停气缸(8)伸缩端的前部设置有伸缩挡板(10);挡停机构(3)挡停气缸(8)的缸体通过挡停连接架(9)与输送线(1)的侧部相连。
3.根据权利要求2所述的磨前自动测电阻率及PN型的设备,其特征在于:所述挡停机构(3)的伸缩挡板(10)朝向待检测硅锭(2)前端的一侧,设置有转动挡轮(11)。
4.根据权利要求1所述的磨前自动测电阻率及PN型的设备,其特征在于:所述检测机构(7)的第一支撑架(16)包括与第一伸缩气缸(15)下部伸缩端相连的缓冲连接板(21),缓冲连接板(21)上设置有竖直布置的直线轴承(22),直线轴承(22)内设置有弹性缓冲立轴(23),弹性缓冲立轴(23)的下端部设置有T型安装板(24);所述电阻率检测笔(17)竖直设置在T型安装板(24)的中部凸缘上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造