[实用新型]一种磨前自动测电阻率及PN型的设备有效
申请号: | 201820922177.0 | 申请日: | 2018-06-14 |
公开(公告)号: | CN208422863U | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 温宁;安陶然 | 申请(专利权)人: | 沈阳昊霖智能装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人: | 王荣亮 |
地址: | 110141 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 伸缩气缸 模组 人工成本 生产效率 滑动 电阻率 放置柜 输送线 支撑架 机箱 传统检测方式 电阻率检测 错误率 检测笔 连接架 上端部 检测 自动化 | ||
一种磨前自动测电阻率及PN型的设备,解决传统检测方式存在的人工成本高,劳动强度大,生产效率低,错误率高,影响产成品质量的问题。包括设置在输送线侧部的机箱放置柜,其特征在于:机箱放置柜位于输送线上方的上端部,设置有X轴直线运动模组;X轴直线运动模组的X轴滑动台上设置有Y轴直线运动模组,Y轴直线运动模组的Y轴滑动台上设置有检测机构;检测机构的检测连接架上分别设置有第一伸缩气缸和第二伸缩气缸;第一伸缩气缸下部的第一支撑架上设置有电阻率检测笔,第二伸缩气缸下部的第二支撑架上设置有PN型检测笔。其设计合理,结构紧凑,自动化程度高,检测精确性好,劳动强度低,可有效提升生产效率,降低人工成本。
技术领域
本实用新型属于机械设备技术领域,具体涉及一种自动化程度高,检测精确性好,劳动强度低,可有效提升生产效率,降低人工成本的磨前自动测电阻率及PN型的设备。
背景技术
在太阳能小硅锭的生产过程中,需要检测硅锭的电阻率以及PN型。现有硅锭电阻率和PN型的检测工艺为:操作人员手持电阻率测试笔或PN型测试笔,在硅锭表面相应的工艺规定测量点位分别进行测量,再将测量数据手动记录。这种传统的检测方式,不但人工成本高、劳动强度大,生产效率低,而且错误率高,严重影响产成品的质量。故有必要对现有技术的硅锭电阻率及PN型检测方式和装置进行改进。
实用新型内容
本实用新型就是针对上述问题,提供一种自动化程度高,检测精确性好,劳动强度低,可有效提升生产效率,降低人工成本的磨前自动测电阻率及PN型的设备。
本实用新型所采用的技术方案是:该磨前自动测电阻率及PN型的设备包括设置在输送线侧部的机箱放置柜,其特征在于:所述机箱放置柜位于输送线上方的上端部,设置有沿输送线传送方向布置的X轴直线运动模组;X轴直线运动模组的X轴滑动台上,设置有沿与输送线传送方向相垂直的水平方向布置的Y轴直线运动模组,且Y轴直线运动模组位于输送线的上方;所述Y轴直线运动模组的Y轴滑动台上设置有检测机构,检测机构包括与Y轴滑动台相连的检测连接架,检测连接架上分别设置有竖直向下布置的第一伸缩气缸和第二伸缩气缸;所述第一伸缩气缸下部的伸缩端设置有第一支撑架,第一支撑架上可拆卸式设置有电阻率检测笔;所述第二伸缩气缸下部的伸缩端设置有第二支撑架,第二支撑架上可拆卸式设置有PN型检测笔。
所述输送线沿传送方向的前端的侧部设置有挡停机构,挡停机构由水平布置的挡停气缸构成,挡停气缸的伸缩端朝向输送线的内侧;挡停气缸伸缩端的前部设置有伸缩挡板;挡停机构挡停气缸的缸体通过挡停连接架与输送线的侧部相连。以利用挡停机构的伸缩挡板将待检测硅锭挡停在检测工位,方便检测机构对硅锭电阻率和PN型的检测。
所述挡停机构的伸缩挡板朝向待检测硅锭前端的一侧,设置有转动挡轮。以便于挡停机构对待检测硅锭的挡停,并有效避免对硅锭端面的损伤。
所述检测机构的第一支撑架包括与第一伸缩气缸下部伸缩端相连的缓冲连接板,缓冲连接板上设置有竖直布置的直线轴承,直线轴承内设置有弹性缓冲立轴,弹性缓冲立轴的下端部设置有T型安装板;所述电阻率检测笔竖直设置在T型安装板的中部凸缘上。以在第一伸缩气缸带动电阻率检测笔下降、对待检测硅锭表面进行电阻率接触检测时,通过T型安装板与缓冲连接板之间布置的弹性缓冲立轴的缓冲作用,有效避免硅锭坚硬表面对电阻率检测笔测试端的损坏。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造