[实用新型]硅片脱胶运输架及硅片脱胶运输系统有效
| 申请号： | 201820907441.3 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN208538812U | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 刘庆;刘传君;吴勇;张云;陈秋杰 | 申请（专利权）人： | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 赵长林 |
| 地址： | 257300 山东省东营市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了硅片脱胶运输架及硅片脱胶运输系统，所述运输架两侧分别设置有固定板，所述固定板的外侧面设置有凸起，所述两个固定板之间依次连接有两根顶部固定杆、两根中部横杆、两根底部固定杆，所述顶部固定杆上包裹有螺旋护套，所述的中部横杆包裹有塑料管；所述硅片脱胶系统包括运输架及运输车。在本申请中，中部横杆上设置有螺旋护套，大大降低了硅片在脱胶过程中崩边的概率，提高了工作效率降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片脱胶 运输架 中部横杆 固定板 顶部固定杆 螺旋护套 运输系统 底部固定杆 塑料管 工作效率 脱胶过程 依次连接 外侧面 运输车 硅片 崩边 凸起 申请 生产成本 概率 | ||
【主权项】：
1.硅片脱胶运输架，其特征在于：所述运输架两侧分别设置有固定板，所述固定板的外侧面设置有凸起，所述运输架两侧的固定板之间依次连接有两根顶部固定杆、两根中部横杆、两根底部固定杆，所述顶部固定杆上包裹有螺旋护套，所述的中部横杆包裹有塑料管。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
