[实用新型]芯片绑定机构及芯片封装机有效
申请号: | 201820875725.9 | 申请日: | 2018-06-07 |
公开(公告)号: | CN208570533U | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 粱吉来;孙永军;张飞;王云峰 | 申请(专利权)人: | 大连佳峰自动化股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 程华 |
地址: | 116000 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开一种芯片绑定机构,包括平台,平台上设置有两平行于平台的横向方向的横向轨道,各横向轨道上均滑动连接有一个横向滑块,横向驱动组件用于驱动一个横向滑块在横向轨道上往复滑动;各横向滑块上设置有平行于平台的纵向方向的绑定头纵向轨道,各绑定头纵向轨道上滑动连接有一个绑定头纵向滑块,纵向驱动组件用于驱动一个绑定头纵向滑块在绑定头纵向轨道上往复滑动;各绑定头纵向滑块上设置有竖直方向的竖向轨道,竖向驱动组件用于驱动一个竖向滑块在竖向轨道上往复滑动;各竖向滑块上固定连接有一个绑定头。芯片绑定机构及包括该芯片绑定机构的芯片封装机,使用双个邦定头同时绑定一列芯片,提升芯片速度,并降低机构制造成本。 | ||
搜索关键词: | 绑定 芯片 横向轨道 横向滑块 往复滑动 纵向轨道 纵向滑块 滑动连接 竖向轨道 竖向滑块 芯片封装 驱动 平行 横向驱动组件 机构制造成本 纵向驱动组件 本实用新型 横向方向 驱动组件 竖向 竖直 | ||
【主权项】:
1.一种芯片绑定机构,其特征在于:包括:平台,所述平台上设置有两平行于所述平台的横向方向的横向轨道,各所述横向轨道上均滑动连接有一个横向滑块,横向驱动组件,所述横向驱动组件设置有两组,且每组所述横向驱动组件均用于驱动一个所述横向滑块在所述横向轨道上往复滑动;纵向驱动组件,各所述横向滑块上均设置有平行于所述平台的纵向方向的绑定头纵向轨道,各所述绑定头纵向轨道上滑动连接有一个绑定头纵向滑块,所述纵向驱动组件设置有两组,且每组所述纵向驱动组件均用于驱动一个所述绑定头纵向滑块在所述绑定头纵向轨道上往复滑动;竖向驱动组件,各所述绑定头纵向滑块上设置有竖直方向的竖向轨道,各所述竖向轨道上滑动连接有一个竖向滑块;所述竖向驱动组件设置有两组,且每组所述竖向驱动组件均用于驱动一个所述竖向滑块在所述竖向轨道上往复滑动;以及两个绑定头,各所述竖向滑块上均固定连接有一个所述绑定头。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造