[实用新型]化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201820832850.1 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN208246556U | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡长益 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B53/017 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 张臻贤;李够生 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种化学机械研磨装置，装置包括研磨台，用于设置研磨垫；温控水机，具有进水口和出水口，进水口与去离子水供应装置连接，温控水机用于将经进水口流入的去离子水加热到预设温度范围；喷雾器，设置在研磨台上方，喷雾器与温控水机的出水口连接，喷雾器具有喷头，喷头相对研磨垫表面倾斜设置；调节头，设置在研磨台上方，用于调节修整研磨垫表面的粗糙度。方法包括将完成表面处理的晶圆移出；将加温后的去离子水通过喷雾器的喷头持续喷射到研磨垫表面，以对研磨垫表面进行加热；通过调节头对研磨垫表面进行修整。本实用新型通过加热的去离子水对研磨垫进行软化，因此提高了研磨垫与晶圆的接触面积。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨垫 去离子水 喷雾器 喷头 进水口 温控水 加热 化学机械研磨装置 本实用新型 研磨 出水口 晶圆 修整 表面倾斜 供应装置 粗糙度 研磨台 加温 移出 预设 软化 喷射 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械研磨装置，其特征在于，包括：研磨台，用于设置研磨垫；温控水机，具有进水口和出水口，所述进水口与去离子水供应装置连接，所述温控水机用于将经所述进水口流入的去离子水加热且稳定在预设温度范围中；喷雾器，设置在所述研磨台上方，所述喷雾器与所述温控水机的所述出水口连接，所述喷雾器具有喷头，所述喷头相对所述研磨垫表面倾斜设置，用于向所述研磨垫表面喷射加温后的所述去离子水，以加热和清洁所述研磨垫；以及调节头，设置在所述研磨台上方，用于调节修整所述研磨垫表面的粗糙度。
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