[实用新型]化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201820832850.1 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN208246556U | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡长益 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B53/017 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 张臻贤;李够生 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨垫 去离子水 喷雾器 喷头 进水口 温控水 加热 化学机械研磨装置 本实用新型 研磨 出水口 晶圆 修整 表面倾斜 供应装置 粗糙度 研磨台 加温 移出 预设 软化 喷射 | ||
1.一种化学机械研磨装置，其特征在于，包括：
研磨台，用于设置研磨垫；
温控水机，具有进水口和出水口，所述进水口与去离子水供应装置连接，所述温控水机用于将经所述进水口流入的去离子水加热且稳定在预设温度范围中；
喷雾器，设置在所述研磨台上方，所述喷雾器与所述温控水机的所述出水口连接，所述喷雾器具有喷头，所述喷头相对所述研磨垫表面倾斜设置，用于向所述研磨垫表面喷射加温后的所述去离子水，以加热和清洁所述研磨垫；以及
调节头，设置在所述研磨台上方，用于调节修整所述研磨垫表面的粗糙度。
2.如权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，还包括：
控制单元，所述控制单元与所述温控水机电连接，用于控制所述温控水机对所述去离子水的加热温度在所述预设温度范围中；所述控制单元还与所述喷雾器电连接，用于控制所述喷头喷出所述去离子水的流速。
3.如权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述喷头相对所述研磨垫表面的倾斜角度在30°-75°之间，包含端点值。
4.如权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述研磨台为多个，各所述研磨台分别配置有各一所述研磨垫和各一所述喷雾器，多个所述喷雾器与同一所述温控水机连接。
5.如权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，还包括研磨头，所述研磨头设置在所述研磨台上方，用于装载晶圆。
6.如权利要求1-5任一项所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述预设温度范围为43℃-47℃，包含端点值。
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