[实用新型]一种应用于Aixtron Crius II机型的石墨盘

摘要

本实用新型提供了一种应用于Aixtron Crius II机型的石墨盘，包括：盘体、放片槽、限位块、第一台阶、沟槽、凸台、第二台阶、第三台阶；所述放片槽通过嵌入方式设置在盘体上；所述限位块通过嵌入方式设置在放片槽的内壁上；所述沟槽位于放片槽的底端；所述第一台阶设置在沟槽的一侧；所述凸台设置在沟槽的另一侧；所述第二台阶设置在凸台的另一侧；所述第三台阶设置在第二台阶的另一侧；本实用新型通过对应用于Aixtron Crius II机型的石墨盘的改进，具有结构设计合理、将放片位置根据波长分布规律进行改进，改善衬底的受热情况，提高单片波长和电性的均匀性，提高芯片良率的优点，从而有效的解决了本实用新型在背景技术一项中提出的问题和不足。

主权项

1.一种应用于Aixtron Crius II机型的石墨盘，包括：盘体(1)、放片槽(2)、限位块(3)、第一台阶(4)、沟槽(5)、凸台(6)、第二台阶(7)、第三台阶(8)；其特征在于：所述放片槽(2)通过嵌入方式设置在盘体(1)上；所述限位块(3)通过嵌入方式设置在放片槽(2)的内壁上；所述沟槽(5)位于放片槽(2)的底端；所述第一台阶(4)设置在沟槽(5)的一侧；所述凸台(6)设置在沟槽(5)的另一侧；所述第二台阶(7)设置在凸台(6)的另一侧；所述第三台阶(8)设置在第二台阶(7)的另一侧。