[实用新型]一种石英舟的定位装置有效
| 申请号： | 201820714506.2 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN208781826U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 张学强;戴军;张建伟;罗银兵 | 申请（专利权）人： | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 耿丹丹 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种石英舟的定位装置，包括传送组件、设置在所述的传送组件上的托盘、放置在所述的托盘上的石英舟，所述的传送组件的一端为供所述的托盘进入的进入端，另一端为用于定位托盘的阻止端，所述的传送组件的阻止端设置有一定位组件，所述的定位组件包括汽缸、被所述的汽缸驱动的位移传感器、设置在所述的位移传感器上的顶针，所述的顶针用于与所述的石英舟相接触并将所述的石英舟定位，所述的位移传感器在所述的汽缸的驱动下能够沿石英舟的运动方向来回移动，所述的定位装置具有运动至最靠近进入端的第一位置及将石英舟定位的第二位置。本申请设置了位移传感器，在石英舟运输过程中能够准确定位，在抓取石英舟时不会发生偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 石英舟 位移传感器 传送组件 托盘 定位装置 顶针 汽缸 抓取 第二位置 第一位置 定位托盘 定位组件 汽缸驱动 运输过程 准确定位 进入端 申请 驱动 移动 | ||
【主权项】：
1.一种石英舟的定位装置，其特征在于，所述的定位装置包括传送组件、设置在所述的传送组件上的托盘、放置在所述的托盘上的石英舟，所述的传送组件的一端为供所述的托盘进入的进入端，另一端为用于定位托盘的阻止端，所述的传送组件的阻止端设置有一定位组件，所述的定位组件包括汽缸、被所述的汽缸驱动的位移传感器、设置在所述的位移传感器上的顶针，所述的顶针用于与所述的石英舟相接触并将所述的石英舟定位，所述的位移传感器在所述的汽缸的驱动下能够沿石英舟的运动方向来回移动，所述的定位装置具有运动至最靠近进入端的第一位置及将石英舟定位的第二位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
