[实用新型]一种用于硅片制绒的花篮定位装置有效
| 申请号： | 201820631395.9 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN208127169U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 蒋新;罗云雷;陈国才;沈洪旗 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/68 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 项丽 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于硅片制绒的花篮定位装置，花篮包括前后两块端板和固定连接在所述两块端板之间的花篮侧板，所述花篮侧板上等距离分布有若干隔片，相邻两隔片之间形成用于卡放硅片的卡槽，所述花篮定位装置包括两块花篮放置板，分别用于定位花篮的前后两块端板，花篮放置板包括底托，在所述底托上通过凸起的长方块状的隔板支撑条限定出花篮端板的放置空间，所述隔板支撑条朝向花篮的侧面为斜面，在所述底托上还设置有花篮定位块，所述花篮的端板底部具有定位槽，所述花篮定位块卡在所述定位槽内。本实用新型的整体结构简单紧凑，缩短了气缸行程，减少了材料损耗及成本，设备的稳定性也得以提高。 | ||
| 搜索关键词： | 花篮 端板 定位装置 底托 本实用新型 隔板支撑 硅片制绒 定位槽 放置板 侧板 隔片 材料损耗 长方块状 定位块卡 放置空间 气缸行程 上等距离 定位块 硅片 卡放 凸起 紧凑 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种用于硅片制绒的花篮定位装置，花篮包括前后两块端板和固定连接在所述两块端板之间的花篮侧板，所述花篮侧板上等距离分布有若干隔片，相邻两隔片之间形成用于卡放硅片的卡槽，其特征在于，所述花篮定位装置包括两块花篮放置板，分别用于定位花篮的前后两块端板，花篮放置板包括底托，在所述底托上通过凸起的长方块状的隔板支撑条限定出花篮端板的放置空间，所述隔板支撑条朝向花篮的侧面为斜面，在所述底托上还设置有花篮定位块，所述花篮的端板底部具有定位槽，所述花篮定位块卡在所述定位槽内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州晶洲装备科技有限公司，未经苏州晶洲装备科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820631395.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型花篮放反的防呆装置
- 下一篇：一种多层式太阳能电池盛放装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
