[实用新型]一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备

摘要

本实用新型公开了一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备，包括晶圆盒库、机械手、预对准平台和大理石气浮台，所述机械手的一侧设置有晶圆盒库，所述机械手的另一侧且与晶圆盒库成九十度的位置设置有预对准平台；本实用新型由于采用了12个晶圆片库，以及通过机械手抓取和放置晶圆片的方法，比起之前的人工放置晶圆片，单片检测的方式，检测效率大大提高了；本实用新型由于在最终检测前，添加了预对准平台部分，使得晶圆的放置定位精度远高于手工放置，使得检测精度大大提高；本实用新型由于检测台采用了大理石气浮平台，相比较于传统的机械检测平台，更加优良的平台性能使得检测精度大大提高。

主权项

1.一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备，包括晶圆盒库(1)、机械手(2)、预对准平台(3)和大理石气浮台(4)，其特征在于：所述机械手(2)的一侧设置有晶圆盒库(1)，所述机械手(2)的另一侧且与晶圆盒库(1)成九十度的位置设置有预对准平台(3)，所述机械手(2)远离晶圆盒库(1)的一侧设置有大理石气浮台(4)；所述晶圆盒库(1)的内部设置有晶圆盒适配器(11)，所述晶圆盒适配器(11)设置有多个，多个所述晶圆盒适配器(11)共分为上下两层，所述晶圆盒适配器(11)的前端设置有第二传感器(14)，所述第二传感器(14)靠近晶圆盒适配器(11)的底部设置有第一传感器(13)，所述晶圆盒适配器(11)的上方设置有2英寸晶圆盒(15)或者4英寸晶圆盒(12)；所述机械手(2)的一侧设置有机械手L轴臂(22)，且机械手(2)的另一侧设置有机械手R轴臂(25)，所述机械手R轴臂(25)与L轴臂(22)的一侧均设置有抓取手(21)，且机械手R轴臂(25)与L轴臂(22)共同的另一侧设置有机械手Z轴臂(24)，所述机械手L轴臂(22)的尾端设置有第三传感器(23)；所述预对准平台(3)的一侧设置有CCD检测仪(31)，且预对准平台(3)的另一侧设置有调整台(32)；所述大理石气浮台(4)的中间位置设置有厚度检测传感器(41)，上下共两个，同心设置，所述两个厚度检测传感器(41)的中间位置设置有兼容2,4寸的检测载物运动台(42)。