[实用新型]一种用于清洗晶圆的花篮装置

摘要

本实用新型公开了一种用于清洗晶圆的花篮装置，属于晶圆清洗技术领域，其包括外部支撑部件和内部固定部件；所述外部支撑部件包括两个平行间隔设置的侧板；所述内部固定部件包括四个平行设置的卡杆，所述卡杆的两端分别固定在两个侧板相对面的下方，四个卡杆圆周均布的与卡盘连接；所述卡杆上设置齿槽，所述齿槽的间距与晶圆片厚度相适应，所述齿槽的走向与卡杆的轴向垂直，所述齿槽沿卡杆的轴向分布，分布在不同卡杆上的卡槽的位置一一对应；四个卡杆能够对晶圆起到限位以及支撑的作用。本实用新型与晶圆接触面积小，且清洗中花篮可封闭固定晶圆片，避免清洗过程中晶圆片因抛动等产生的力而脱离花篮。

主权项

1.一种用于清洗晶圆的花篮装置，其特征在于：包括外部支撑部件和内部固定部件；所述外部支撑部件包括两个平行间隔设置的侧板；所述内部固定部件包括至少三个平行设置的卡杆，所述卡杆的两端分别固定在两个侧板相对面的下方，三个卡杆分别为一个第一卡杆和两个第二卡杆，所述两个第二卡杆在一个水平面，所述第一卡杆位于两个第一卡杆下方；所述卡杆上设置若干间距相等的齿槽，所述齿槽的间距与晶圆片厚度相适应，所述齿槽的走向与卡杆的轴向垂直，所述齿槽沿卡杆的轴向分布，分布在不同卡杆上的卡槽的位置一一对应；所述两个第二卡杆的齿槽是用于对晶圆进行水平方向的限位，所述第一卡杆的齿槽是用于对所述晶圆进行支撑。