[实用新型]一种用于清洗晶圆的花篮装置

说明书

本实用新型公开了一种用于清洗晶圆的花篮装置，属于晶圆清洗技术领域，其包括外部支撑部件和内部固定部件；所述外部支撑部件包括两个平行间隔设置的侧板；所述内部固定部件包括四个平行设置的卡杆，所述卡杆的两端分别固定在两个侧板相对面的下方，四个卡杆圆周均布的与卡盘连接；所述卡杆上设置齿槽，所述齿槽的间距与晶圆片厚度相适应，所述齿槽的走向与卡杆的轴向垂直，所述齿槽沿卡杆的轴向分布，分布在不同卡杆上的卡槽的位置一一对应；四个卡杆能够对晶圆起到限位以及支撑的作用。本实用新型与晶圆接触面积小，且清洗中花篮可封闭固定晶圆片，避免清洗过程中晶圆片因抛动等产生的力而脱离花篮。

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，特别是一种用于清洗晶圆的花篮装置。

背景技术

在晶圆加工过程中，清洗工艺多次进行，花篮装置作为清洗时固定晶圆片的装置而使用。目前清洗中使用的花篮与晶圆片的接触面积比较大，造成清洗槽内超声、兆声等辅助功能在花篮边缘位置衰减，使得晶圆片边缘位置清洗效果差，表面不均匀等，影响晶圆片整体的洁净程度和质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于清洗晶圆的花篮装置，其与晶圆接触面积小，且清洗中花篮可封闭固定晶圆片，避免清洗过程中晶圆片因抛动等产生的力而脱离花篮。

为了实现上述目的，本实用新型提供的一种用于清洗晶圆的花篮装置，其特征在于：包括外部支撑部件和内部固定部件；所述外部支撑部件包括两个平行间隔设置的侧板；所述内部固定部件包括至少三个平行设置的卡杆，所述卡杆的两端分别固定在两个侧板相对面的下方，三个卡杆分别为一个第一卡杆和两个第二卡杆，所述两个第二卡杆在一个水平面，所述第一卡杆位于两个第一卡杆下方；所述卡杆上设置若干间距相等的齿槽，所述齿槽的间距与晶圆片厚度相适应，所述齿槽的走向与卡杆的轴向垂直，所述齿槽沿卡杆的轴向分布，分布在不同卡杆上的卡槽的位置一一对应；所述两个第二卡杆的齿槽是用于对晶圆进行水平方向的限位，所述第一卡杆的齿槽是用于对所述晶圆进行支撑。

所述内部固定件还包括第三卡杆，所述第三卡杆位于第二卡杆上方并且可拆卸的连接在侧板上，所述第三卡杆与所述第一卡杆一起作用来限制所述晶圆在竖直方向的运动。

所述卡杆与所述侧板是通过卡块和卡盘固定的，所述卡块通过螺杆和螺母固定在所述侧板上，所述卡块能够嵌入所述卡盘的卡槽内，以固定卡盘；所述卡盘端面设置有垂直端面的凸起，所述凸起与所述卡杆两端固定的缺口螺母相配合来实现卡杆的可拆卸固定。

所述齿槽为半环形齿槽或环形齿槽。

所述外部支撑部件还包括两个插杆，所述插杆位于两个侧板底部的两侧。所述插杆通过螺栓与所述侧板固定。

所述外部支撑部件还包括提杆，所述提杆设置在侧板上方，所述提杆通过螺栓与所述侧板固定。

所述侧板底部还设置有定位槽。

本实用新型提供的一种用于清洗晶圆的花篮装置，具有如下有益效果：

所述花篮装置与晶圆接触面积小，且清洗中花篮可封闭固定晶圆片，避免清洗过程中晶圆片因抛动等产生的力而脱离花篮。

附图说明

图1为本实用新型的一种用于清洗晶圆的花篮装置的结构示意图。

图中：

1、侧板

2、第二卡杆

3、第三卡杆

4、齿槽

5、晶圆

6、卡块

7、卡盘

71、卡槽

72、凸起