[实用新型]一种新型硅片清洗烘干装置有效
| 申请号： | 201820403750.7 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN211839309U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 郑国君 | 申请（专利权）人： | 郑州金恒电子技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 李龙 |
| 地址： | 450008 河南省郑州*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型硅片清洗烘干装置，涉及电子设备领域，包括设备主体，所述设备主体包括烘干间和清洗间，所述烘干间位于清洗间的上方，所述烘干间和清洗间的上方均设置有开口，所述烘干间的两侧面对称设置有出风机和吸风机，所述清洗间的两侧面对称设置有出水装置和汲水装置，所述设备主体的上方设置有气压缸，所述气压缸的伸缩杆端部设置有内部中空的长方体状放置箱。本装置具有结构简单，设计巧妙，成本低的优点，解决了现有技术中的硅片清洗和烘干两个工序分开进行导致工作效率低，且反复夹取易损坏硅片的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 硅片 清洗 烘干 装置 | ||
【主权项】：
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