[实用新型]一种新型硅片清洗烘干装置有效
| 申请号： | 201820403750.7 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN211839309U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 郑国君 | 申请（专利权）人： | 郑州金恒电子技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 李龙 |
| 地址： | 450008 河南省郑州*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 硅片 清洗 烘干 装置 | ||
1.一种新型硅片清洗烘干装置，其特征在于，包括设备主体，所述设备主体包括烘干间(1)和清洗间(2)，所述烘干间(1)位于清洗间(2)的上方，所述烘干间(1)和清洗间(2)的上方均设置有开口(11)，所述烘干间(1)的两侧面对称设置有出风机(3)和吸风机(4)，所述清洗间(2)的两侧面对称设置有出水装置(5)和汲水装置(6)，所述设备主体的上方设置有气压缸(7)，所述气压缸(7)的伸缩杆(8)端部设置有内部中空的长方体状放置箱(9)。
2.根据权利要求1所述的一种新型硅片清洗烘干装置，其特征在于，所述出水装置(5)包括第一水箱(15)、第一进水管(16)、第一水泵(17)以及第一出水管(18)，所述第一进水管(16)设置于第一水箱(15)内部。
3.根据权利要求2所述的一种新型硅片清洗烘干装置，其特征在于，所述第一出水管(18)设置于所述清洗间(2)内部，所述第一出水管(18)从上到下依次均分成多个出水口。
4.根据权利要求1所述的一种新型硅片清洗烘干装置，其特征在于，所述汲水装置(6)包括第二水箱(19)、第二进水管(20)、第二水泵(21)以及第二出水管(22)。
5.根据权利要求3所述的一种新型硅片清洗烘干装置，其特征在于，所述第一出水管(18)设置于所述清洗间(2)内部，所述第一出水管(18)从上到下依次均分成多个入水口。
6.根据权利要求1所述的一种新型硅片清洗烘干装置，其特征在于，所述伸缩杆(8)的圆周上设置有第一密封盖(23)和第二密封盖(24)，所述第一密封盖(23)位于第二密封盖(24)的上方。
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