[实用新型]一种晶圆片分选装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆片分选装置，包括储存室、支撑架、第一抽气泵、第二抽气泵、第一分选手臂、第二分选手臂和控制器，所述储存室内部设有多个大小相同但质量不同的晶圆片，支撑架通过焊接与储存室固定连接，控制器通过焊接与支撑架固定连接，所述第一抽气泵和第二抽气泵置于支撑架上部，所述支撑架下部设有第一分选手臂和第二分选手臂，所述第一分选手臂和第二分选手臂底部分别设有吸管，吸管外侧设有储存袋，储存袋通过连接座与吸管固定连接；所述吸管内部设有挡板，挡板倾斜放置。该一种晶圆片分选装置，通过在支撑架上部设有两个抽气泵，控制抽气泵的气压进而对不同质量的晶圆片进行分选，从而提高分选效率。

主权项

1.一种晶圆片分选装置，包括储存室（1）、支撑架（2）、第一抽气泵（3）、第二抽气泵（4）、第一分选手臂（5）、第二分选手臂（6）和控制器（11），其特征在于：所述储存室（1）内部设有多个大小相同但质量不同的晶圆片，支撑架（2）通过焊接与储存室（1）固定连接，控制器（11）通过焊接与支撑架（2）固定连接，所述第一抽气泵（3）和第二抽气泵（4）置于支撑架（2）上部，所述支撑架（2）下部设有第一分选手臂（5）和第二分选手臂（6），所述第一分选手臂（5）和第二分选手臂（6）底部分别设有吸管（8），吸管（8）外侧设有储存袋（12），储存袋（12）通过连接座与吸管（8）固定连接；所述吸管（8）内部设有挡板（13），挡板（13）倾斜放置，挡板（13）通过卡槽与吸管（8）内侧固定连接，挡板（13）上设有通孔。