[实用新型]一种多功能石英花篮有效
| 申请号： | 201820271316.8 | 申请日： | 2018-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN207966944U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 常永喜;汤芳 | 申请（专利权）人： | 苏州浩锐石英科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 215200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多功能石英花篮，包括篮筐、把手、支撑脚和开槽板，所述篮筐内设置有连接板，所述开槽板穿在连接板上，所述连接板内设置有移动杆，所述开槽板与移动杆连接，所述连接板上设置有固定板，所述固定板上设置有把手，所述篮筐的下方设置有支撑脚。本实用新型所提供的一种多功能石英花篮，可同时放不同尺寸的半导体芯片，使半导体芯片清洗的更干净，节省了材料，降低了半导体芯片的清洗成本。 | ||
| 搜索关键词： | 连接板 半导体芯片 开槽板 石英 篮筐 本实用新型 花篮 固定板 移动杆 支撑脚 清洗 把手 | ||
【主权项】：
1.一种多功能石英花篮，其特征在于，包括篮筐、把手、支撑脚和开槽板，所述篮筐内设置有连接板，所述开槽板穿在连接板上，所述连接板内设置有移动杆，所述开槽板与移动杆连接，所述连接板上设置有固定板，所述固定板上设置有把手，所述篮筐的下方设置有支撑脚。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
