[实用新型]一种简易的PVD真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201820205326.1 | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN208008879U | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 黄正勇;周文忠;黄国辉;黄建朝;吴迪 | 申请（专利权）人： | 东莞市宝钛涂层科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其是一种简易的PVD真空镀膜装置，包括镀膜仓，所述镀膜仓顶部铰接有密封盖，所述镀膜仓的底部设有支撑架，所述支撑架的顶部安装有真空泵，所述真空泵的抽气口与镀膜仓内部连通，所述镀膜仓内部底端设有加热机构。本实用新型，结构简单，使用方便，镀膜均匀，使用效果好，有效的提高了镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜仓 真空镀膜装置 本实用新型 真空泵 支撑架 简易 顶部安装 镀膜技术 镀膜效率 加热机构 内部连通 抽气口 密封盖 底端 镀膜 铰接 | ||
【主权项】：
1.一种简易的PVD真空镀膜装置，包括镀膜仓(1)，所述镀膜仓(1)顶部铰接有密封盖(17)，所述镀膜仓(1)的底部设有支撑架(3)，所述支撑架(3)的顶部安装有真空泵(2)，所述真空泵(2)的抽气口与镀膜仓(1)内部连通，其特征在于，所述镀膜仓(1)内部底端设有加热机构，所述加热机构上方镀膜仓(1)内部水平连接有支撑板(8)，所述支撑板(8)上开设有安装口(23)，所述安装口(23)内部固定安装有风罩(9)，所述风罩(9)开口朝下，所述风罩(9)内部安装有风扇(29)，所述风罩(9)上方设有镀膜机构，所述镀膜机构包括排气硬管(11)，所述排气硬管(11)顶部设有喷头(12)，所述排气硬管(11)的两端底部均设有第一滑块(10)，所述排气硬管(11)与第一滑块(10)之间通过第二卡环(28)固定连接，两个所述第一滑块(10)分别滑动安装在滑杆(14)上，所述滑杆(14)水平固定连接在镀膜仓(1)两端的内壁上，所述排气硬管(11)与风罩(9)之间通过两根排气软管(15)连通，两根滑杆(14)之间设有驱动机构，在所述喷头(12)的上方镀膜仓(1)两端的内壁上对称安装有限位板(20)，两块所述限位板(20)顶部共同安装有样板(16)，所述样板(16)上表面设有多个夹紧装置。
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