[实用新型]一种简易的PVD真空镀膜装置

权利要求书

1.一种简易的PVD真空镀膜装置，包括镀膜仓(1)，所述镀膜仓(1)顶部铰接有密封盖(17)，所述镀膜仓(1)的底部设有支撑架(3)，所述支撑架(3)的顶部安装有真空泵(2)，所述真空泵(2)的抽气口与镀膜仓(1)内部连通，其特征在于，所述镀膜仓(1)内部底端设有加热机构，所述加热机构上方镀膜仓(1)内部水平连接有支撑板(8)，所述支撑板(8)上开设有安装口(23)，所述安装口(23)内部固定安装有风罩(9)，所述风罩(9)开口朝下，所述风罩(9)内部安装有风扇(29)，所述风罩(9)上方设有镀膜机构，所述镀膜机构包括排气硬管(11)，所述排气硬管(11)顶部设有喷头(12)，所述排气硬管(11)的两端底部均设有第一滑块(10)，所述排气硬管(11)与第一滑块(10)之间通过第二卡环(28)固定连接，两个所述第一滑块(10)分别滑动安装在滑杆(14)上，所述滑杆(14)水平固定连接在镀膜仓(1)两端的内壁上，所述排气硬管(11)与风罩(9)之间通过两根排气软管(15)连通，两根滑杆(14)之间设有驱动机构，在所述喷头(12)的上方镀膜仓(1)两端的内壁上对称安装有限位板(20)，两块所述限位板(20)顶部共同安装有样板(16)，所述样板(16)上表面设有多个夹紧装置。

2.根据权利要求1所述的一种简易的PVD真空镀膜装置，其特征在于，所述驱动机构包括电机(21)，所述电机(21)固定安装在电机支架(22)上，所述电机支架(22)固定连接在镀膜仓(1)的外壁上，所述电机(21)的输出轴贯穿镀膜仓(1)且端部水平连接有螺杆(25)，所述螺杆(25)远离电机(21)的一端转动连接在镀膜仓(1)内壁上，在所述螺杆(25)上通过螺纹连接有第二滑块(26)，两块所述第一滑块(10)与第二滑块(26)之间均通过连接杆(24)连接，且所述排气软管(15)与连接杆(24)之间通过第一卡环(27)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种简易的PVD真空镀膜装置，其特征在于，所述支撑架(3)底部设有电瓶盒(6)，所述电瓶盒(6)内部安装有蓄电瓶(5)，所述真空泵(2)、电机(21)和风扇(29)均通过导线与蓄电瓶(5)连接，且所述真空泵(2)与蓄电瓶(5)之间的导线上安装有开关(30)。

4.根据权利要求3所述的一种简易的PVD真空镀膜装置，其特征在于，所述加热机构包括底座(4)，所述底座(4)固定连接在镀膜仓(1)内部底端，所述底座(4)上方开设有安装槽(31)，所述安装槽(31)内部水平设有金属棒(7)，所述金属棒(7)的外表面缠绕有钨丝(32)，所述钨丝(32)通过导线与蓄电瓶(5)连接。

5.根据权利要求1所述的一种简易的PVD真空镀膜装置，其特征在于，所述夹紧装置包括T型杆(13)，所述T型杆(13)一端贯穿密封盖(17)且端部垂直连接有压板(19)，在所述T型杆(13)上套设有弹簧(18)，所述弹簧(18)的两端分别固定连接在压板(19)的顶部与密封盖(17)的底部。