[实用新型]一种简易的PVD真空镀膜装置有效
申请号: | 201820205326.1 | 申请日: | 2018-02-06 |
公开(公告)号: | CN208008879U | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 黄正勇;周文忠;黄国辉;黄建朝;吴迪 | 申请(专利权)人: | 东莞市宝钛涂层科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜仓 真空镀膜装置 本实用新型 真空泵 支撑架 简易 顶部安装 镀膜技术 镀膜效率 加热机构 内部连通 抽气口 密封盖 底端 镀膜 铰接 | ||
本实用新型涉及镀膜技术领域,尤其是一种简易的PVD真空镀膜装置,包括镀膜仓,所述镀膜仓顶部铰接有密封盖,所述镀膜仓的底部设有支撑架,所述支撑架的顶部安装有真空泵,所述真空泵的抽气口与镀膜仓内部连通,所述镀膜仓内部底端设有加热机构。本实用新型,结构简单,使用方便,镀膜均匀,使用效果好,有效的提高了镀膜效率。
技术领域
本实用新型涉及镀膜技术领域,尤其涉及一种简易的PVD真空镀膜装置。
背景技术
物理气相沉积(PVD)是通过蒸发,电离或者溅射等方式,产生金属离子并成绩在基板表面。物理气相成绩镀膜技术主要分为三类,真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀。其中真空蒸发镀膜是借助于钨丝等材料对拟镀金属块进行加热,因为其相比于电离或溅射等方式而言,相对简单的工作原理被广泛的引用于各个领域。然而现有的真空蒸发镀膜机结构复杂、镀膜效果不理想。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在结构复杂,镀膜效果不理想的缺点,而提出的一种简易的PVD真空镀膜装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
设计一种简易的PVD真空镀膜装置,包括镀膜仓,所述镀膜仓顶部铰接有密封盖,所述镀膜仓的底部设有支撑架,所述支撑架的顶部安装有真空泵,所述真空泵的抽气口与镀膜仓内部连通,所述镀膜仓内部底端设有加热机构,所述加热机构上方镀膜仓内部水平连接有支撑板,所述支撑板上开设有安装口,所述安装口内部固定安装有风罩,所述风罩开口朝下,所述风罩内部安装有风扇,所述风罩上方设有镀膜机构,所述镀膜机构包括排气硬管,所述排气硬管顶部设有喷头,所述排气硬管的两端底部均设有第一滑块,所述排气硬管与第一滑块之间通过第二卡环固定连接,两个所述第一滑块分别滑动安装在滑杆上,所述滑杆水平固定连接在镀膜仓两端的内壁上,所述排气硬管与风罩之间通过两根排气软管连通,两根滑杆之间设有驱动机构,在所述喷头的上方镀膜仓两端的内壁上对称安装有限位板,两块所述限位板顶部共同安装有样板,所述样板上表面设有多个夹紧装置。
优选的,所述驱动机构包括电机,所述电机固定安装在电机支架上,所述电机支架固定连接在镀膜仓的外壁上,所述电机的输出轴贯穿镀膜仓且端部水平连接有螺杆,所述螺杆远离电机的一端转动连接在镀膜仓内壁上,在所述螺杆上通过螺纹连接有第二滑块,两块所述第一滑块与第二滑块之间均通过连接杆连接,且所述排气软管与连接杆之间通过第一卡环固定连接。
优选的,所述支撑架底部设有电瓶盒,所述电瓶盒内部安装有蓄电瓶,所述真空泵、电机和风扇均通过导线与蓄电瓶连接,且所述真空泵与蓄电瓶之间的导线上安装有开关。
优选的,所述加热机构包括底座,所述底座固定连接在镀膜仓内部底端,所述底座上方开设有安装槽,所述安装槽内部水平设有金属棒,所述金属棒的外表面缠绕有钨丝,所述钨丝通过导线与蓄电瓶连接。
优选的,所述夹紧装置包括T型杆,所述T型杆一端贯穿密封盖且端部垂直连接有压板,在所述T型杆上套设有弹簧,所述弹簧的两端分别固定连接在压板的顶部与密封盖的底部。
本实用新型提出的一种简易的PVD真空镀膜装置,有益效果在于:将样板放置在限位板上,关上密封盖,通过真空泵将镀膜仓内部的空去抽出,再通过加热机构加热蒸发,从而风扇将蒸发的蒸汽吸入到风罩内部,再经过排气软管输送到排气硬管内部,排气硬管内部的蒸汽通过喷头喷附在样板表面即可。本实用新型,结构简单,使用方便,镀膜均匀,使用效果好,有效的提高了镀膜效率。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种简易的PVD真空镀膜装置的结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种简易的PVD真空镀膜装置的左视结构示意图;
图3为本实用新型提出的一种简易的PVD真空镀膜装置的风罩底部结构示意图;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市宝钛涂层科技有限公司,未经东莞市宝钛涂层科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820205326.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种高质量氧化铝真空镀膜装置
- 下一篇:一种新型真空镀膜机
- 同类专利
- 专利分类