[实用新型]一种单晶硅片磨削加工装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅片磨削加工装置，包括固定卡箍、打磨盘、红外线发射器、夹装吸盘、液压伸缩杆、液压气缸、负压装置、电机、工作平台、红外线接收器和控制器，所述固定底座顶端的四个拐角处均安装有支撑杆，且支撑杆的顶端之间安装有工作平台，所述固定底座顶端的中间位置处安装有负压装置，且固定底座顶端一侧的中间位置处安装有电机箱，所述电机箱内部的底端安装有电机。本实用新型通过安装有电机、主动轮、主动轴、从动轮、连接皮带和打磨盘，在使用时电机带动主动轴和主动轮转动，主动轮通过连接皮带带动从动轮、从动轴和打磨盘一起转动，对单晶硅片进行打磨，机械化操作快速便捷。

主权项

1.一种单晶硅片磨削加工装置，包括固定卡箍（4）、打磨盘（5）、红外线发射器（6）、夹装吸盘（8）、液压伸缩杆（9）、液压气缸（10）、负压装置（11）、电机（14）、工作平台（20）、红外线接收器（21）和控制器（22），其特征在于：固定底座（13）顶端的四个拐角处均安装有支撑杆（18），且支撑杆（18）的顶端之间安装有工作平台（20），所述固定底座（13）顶端的中间位置处安装有负压装置（11），且固定底座（13）顶端一侧的中间位置处安装有电机箱（15），所述电机箱（15）内部的底端安装有电机（14），且电机（14）远离负压装置（11）的一侧横向安装有主动轴（16），所述主动轴（16）远离电机（14）的一侧安装有主动轮（17），且主动轮（17）上方的工作平台（20）顶端的中间位置处均匀安装有固定杆（3），所述固定杆（3）的顶端均安装有固定卡箍（4），且固定卡箍（4）之间横向安装有从动轴（2），所述从动轴（2）靠近主动轮（17）的一侧安装有从动轮（1），且从动轮（1）与主动轮（17）之间通过连接皮带（19）相连接，所述从动轴（2）远离从动轮（1）的一侧安装有打磨盘（5），且打磨盘（5）下方的工作平台（20）上安装有红外线接收器（21），所述工作平台（20）顶端远离打磨盘（5）一侧的中间位置处安装有液压气缸（10），且液压气缸（10）靠近打磨盘（5）一侧的中间位置处安装有液压伸缩杆（9），所述液压伸缩杆（9）远离液压气缸（10）的一侧安装有夹装吸盘（8），且夹装吸盘（8）的底端安装有红外线发射器（6），所述夹装吸盘（8）靠近打磨盘（5）一侧的内部均匀设置有负压吸孔（7），且夹装吸盘（8）两侧的中间位置处均安装有导管（12）与负压装置（11）相连通，所述工作平台（20）一侧靠近液压气缸（10）的一端安装有控制器（22）。