[实用新型]镀氟清洗花篮有效
申请号: | 201820087496.4 | 申请日: | 2018-01-18 |
公开(公告)号: | CN207781563U | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 虞凯;季九江;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种镀氟清洗花篮,在卡齿和横杆的外表面均设置镀氟涂层,氟含量越高,结晶化程度越大,耐蚀性当然更高,耐温亦更高,从而使得水分子能迅速褪去,大大增强了花篮的脱水性,节约了烘干时间,提高了生产效率;在原花篮的基础上,将原来菱形卡齿的两侧尖角变成平面,形成基底与横梁连接,顶点与基底的中心位于同一竖直线上,基底形状为:由两个下底重合的等腰梯形所围成的形状的锥体,增大了两个卡齿之间的距离,使硅片卡设在相邻两个卡齿之间时,硅片与两侧的卡齿之间还留有空隙,降低卡齿与硅片表面的接触,使得在制绒过程中,硅片在与花篮的接触部分可以更完全的反应,降低了花篮印。 | ||
搜索关键词: | 花篮 卡齿 硅片 基底 清洗 本实用新型 同一竖直线 菱形 等腰梯形 硅片表面 基底形状 生产效率 氟涂层 结晶化 耐蚀性 水分子 脱水性 横杆 重合 横梁 烘干 尖角 耐温 制绒 锥体 节约 | ||
【主权项】:
1.一种镀氟清洗花篮,其特征在于:包括横杆(1),所述横杆(1)上垂直固定安装有若干卡齿(2),若干所述卡齿(2)平行且间隔设置,所述卡齿(2)和所述横杆(1)的外表面上均设置有镀氟涂层,所述卡齿(2)为基底与横梁连接的锥体,锥体的顶点与基底的中心位于同一竖直线上,锥体的基底形状为:由两个下底重合的等腰梯形所围成的形状。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造