[实用新型]一种全自动离子束刻蚀机有效
| 申请号： | 201820082690.3 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN208315502U | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 周杰海 | 申请（专利权）人： | 东莞市鸿村环保设备制造有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/20 |
| 代理公司： | 东莞市浩宇专利代理事务所(普通合伙) 44460 | 代理人： | 陈凯玉 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种全自动离子束刻蚀机，包括矩形板、横臂、纵杆、转动盘、离子放射管、圆形夹板和底座，所述矩形板表面上加工有横向凹槽和纵向凹槽，且横向凹槽的槽面与横臂的端面相配合，所述横臂上安装有滑动套杆，且横臂和滑动套杆活动连接，所述滑动套杆上固定安装有纵杆，且滑动套杆正下方平行设置有转动盘，转动盘的轴线与纵杆的轴线相重合，所述转动盘与连接模块固定相连，且转动盘与连接模块的上端面位于同一平面上，所述矩形板固定于壳体的内表面，所述壳体内表面的底部设置有底座，底座上放置有待刻蚀玻璃，且底座表面与横臂平行。本实用新型提高了对大型玻璃刻蚀的效率，具有结构简单、使用方便、使用效果好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 转动盘 横臂 滑动套杆 纵杆 底座 离子束刻蚀机 本实用新型 横向凹槽 连接模块 矩形板 矩形板表面 壳体内表面 大型玻璃 底座表面 固定相连 活动连接 刻蚀玻璃 平行设置 圆形夹板 纵向凹槽 放射管 内表面 上端面 重合 槽面 壳体 刻蚀 离子 平行 加工 配合 | ||
【主权项】：
1.一种全自动离子束刻蚀机，包括矩形板(1)、横臂(2)、纵杆(5)、转动盘(6)、离子放射管(8)、圆形夹板(10)和底座(12)，其特征在于：所述矩形板(1)表面上加工有横向凹槽(14)和纵向凹槽(15)，所述横臂(2)滑动安装城横向凹槽(14)内，所述横臂(2)上安装有滑动套杆(3)，且横臂(2)和滑动套杆(3)活动连接，所述滑动套杆(3)上固定安装有纵杆(5)，且滑动套杆(3)正下方平行设置有转动盘(6)，转动盘(6)的轴线与纵杆(5)的轴线相重合，所述转动盘(6)与连接模块(7)固定相连，且转动盘(6)与连接模块(7)的上端面位于同一平面上，所述矩形板(1)固定于壳体(4)的内表面，所述壳体(4)内表面的底部设置有底座(12)，底座(12)上放置有待刻蚀玻璃(11)，且底座(12)表面与横臂(2)平行，所述连接模块(7)的一端安装有离子放射管(8)，且离子放射管(8)的轴线与纵杆(5)的轴线平行。
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