[实用新型]一种全自动离子束刻蚀机

说明书

本实用新型公开了一种全自动离子束刻蚀机，包括矩形板、横臂、纵杆、转动盘、离子放射管、圆形夹板和底座，所述矩形板表面上加工有横向凹槽和纵向凹槽，且横向凹槽的槽面与横臂的端面相配合，所述横臂上安装有滑动套杆，且横臂和滑动套杆活动连接，所述滑动套杆上固定安装有纵杆，且滑动套杆正下方平行设置有转动盘，转动盘的轴线与纵杆的轴线相重合，所述转动盘与连接模块固定相连，且转动盘与连接模块的上端面位于同一平面上，所述矩形板固定于壳体的内表面，所述壳体内表面的底部设置有底座，底座上放置有待刻蚀玻璃，且底座表面与横臂平行。本实用新型提高了对大型玻璃刻蚀的效率，具有结构简单、使用方便、使用效果好的优点。

技术领域

本实用新型涉及刻蚀技术领域，具体为一种全自动离子束刻蚀机。

背景技术

到目前为止，离子束刻蚀机一种较为成熟的干法刻蚀工艺，其主要利用离子束对待刻蚀物体的表面进行轰击，将物体表面未覆盖掩膜的部分给去除，从而达到刻蚀的目的，其因拥有分辨率高，且能刻蚀大多数材料，因而得以广泛运用。当需对工件进行双面刻蚀时，需将待刻蚀物取出才能实现，这显然会影响刻蚀过程中的效率。针对上述所出现的问题，并达到提高对大型玻璃的刻蚀效率，本实用新型提出了一种全自动离子束刻蚀机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种全自动离子束刻蚀机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种全自动离子束刻蚀机，包括矩形板、横臂、纵杆、转动盘、离子放射管、圆形夹板和底座，所述矩形板表面上加工有横向凹槽和纵向凹槽，所述横臂滑动安装城横向凹槽内，所述横臂上安装有滑动套杆，且横臂和滑动套杆活动连接，所述滑动套杆上固定安装有纵杆，且滑动套杆正下方平行设置有转动盘，转动盘的轴线与纵杆的轴线相重合，所述转动盘与连接模块固定相连，且转动盘与连接模块的上端面位于同一平面上，所述矩形板固定于壳体的内表面，所述壳体内表面的底部设置有底座，底座上放置有待刻蚀玻璃，且底座表面与横臂平行。

优选的，所述连接模块的一端安装有离子放射管，且离子放射管的轴线与纵杆的轴线平行。

优选的，所述待刻蚀玻璃放置于底座上，且待刻蚀玻璃的外圈设置有置于底座上的圆形夹板。

优选的，所述圆形夹板的开口处设置有通电磁铁。

优选的，所述圆形夹板的一端固定安装有转动管，且转动管的另一端竖向滑动安装在纵向凹槽内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型能实现四轴联动，依次有：横臂在横向凹槽中的移动，滑动套杆在横臂上的移动，转动盘在纵杆上的上下移动以及转动盘绕纵杆的旋转，通过四轴联动，可以实现离子放射管在空间上的任意移动；

2、本实用新型同时还设置有圆形夹板，当待刻蚀玻璃其中一面刻蚀结束后，借助通电磁铁和圆形夹板将待刻蚀玻璃夹住，通过调节转动管向上移动，并旋转180度，从而可以实现待刻蚀玻璃另一面的刻蚀，具有结构简单、使用方便、使用效果好的优点。

附图说明

图1为本实用新型一种全自动离子束刻蚀机壳体内部结构示意图；

图2为本实用新型一种全自动离子束刻蚀机整体结构示意图；

图3为本实用新型一种全自动离子束刻蚀机离子放射管仰视图。

图中：1-矩形板；2-横臂；3-滑动套杆；4-壳体；5-纵杆；6-转动盘； 7-连接模块；8-离子放射管；9-通电磁铁；10-圆形夹板；11-待刻蚀玻璃； 12-底座；13-转动管；14-横向凹槽；15-纵向凹槽。

具体实施方式